ሲሲ የሴራሚክ ፒን ቻክ

ሴሚክስላብ ለሴሚኮንዳክተር ዋፈር አያያዝ፣ ምርመራ፣ ሊቶግራፊ፣ ሜትሮሎጂ እና የሙቀት ማቀነባበሪያ አፕሊኬሽኖች የተነደፉ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹኮችን ያቀርባል።

ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው የሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ የተሰራው የእኛ የሲሲ ፒን ቹክ እጅግ በጣም ጥሩ የሜካኒካል መረጋጋትን፣ የላቀ የሙቀት አፈፃፀምን፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብክለት ባህሪያትን እና ትክክለኛ የዋፈር አቀማመጥ ችሎታን ያጣምራል።

ወደ ትላልቅ የዋፈር መጠኖች፣ ጥብቅ የሂደት ቁጥጥር እና ከፍተኛ የንፅህና መስፈርቶችን ለማምጣት የላቀ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ቀጣይነት ባለው እድገት፣ SiC Ceramic Pin Chuck ለአስተማማኝ የዋፈር ድጋፍ ስርዓቶች ወሳኝ አካል ሆኗል።

የምርት ባህሪያት የ SiC የሴራሚክ ፒን ቻክ

ከፍተኛ የሜካኒካል መረጋጋት እና ትክክለኛ የዋፈር ድጋፍ

ሴሚክስላብ ሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹክ ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ሲሊከን ካርቦይድ ሴራሚክ የተሰራ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ ጥንካሬ፣ የመልበስ መቋቋም እና የመጠን መረጋጋት ይሰጣል። ጠንካራው የሴራሚክ አወቃቀሩ በተደጋጋሚ የመጫኛ ዑደቶች ውስጥ አስተማማኝ የዋፈር ድጋፍን ያረጋግጣል እንዲሁም ከፍተኛ የቦታ ትክክለኛነትን ይጠብቃል።

እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አፈፃፀም

ሲሊከን ካርቦይድ ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት እና አስደናቂ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም አለው። እነዚህ ባህሪያት SiC Ceramic Pin Chuck በከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች ወቅት የሙቀት ሕክምናን እና ማቃጠልን ጨምሮ የተረጋጋ አፈፃፀምን እንዲጠብቅ ያስችላሉ።

የኬሚካል መቋቋም እና ዝቅተኛ የብክለት ባህሪያት

የሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ብዙውን ጊዜ የዝገት ጋዞችን፣ የፕላዝማ አካባቢዎችን እና ጥብቅ የንፅህና መስፈርቶችን ያካትታሉ። ጠንካራ የSi-C ትስስር ስላላቸው፣ የSiC ሴራሚክስ እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል መቋቋም፣ የፕላዝማ ዘላቂነት እና ዝቅተኛ የቅንጣት ማመንጨት ይሰጣሉ።

የትክክለኛነት ፒን መዋቅር ዲዛይን

የተመቻቸ የፒን-አደራይ መዋቅር የተረጋጋ ሜካኒካል ድጋፍ በመስጠት የዋፈር ግንኙነት ቦታን ይቀንሳል። ይህ ዲዛይን የኋላ ብክለትን ይቀንሳል፣ የዋፈር ጉዳትን ይከላከላል እና የዋፈር ጠፍጣፋነት ቁጥጥርን ያሻሽላል።

ሴሚክስላብ የተለያዩ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን መስፈርቶች ለማሟላት የፒን ውቅር፣ ልኬቶች እና የገጽታ ዝርዝሮችን ጨምሮ ብጁ ዲዛይኖችን ይደግፋል።

ለተበጁ መፍትሄዎች Semixlab ን ያነጋግሩ

ለሴሚኮንዳክተር ዋፈር አያያዝ ስርዓቶች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹክ መፍትሄዎችን ይፈልጋሉ? ስለ ማመልከቻዎ መስፈርቶች ለመወያየት ዛሬውኑ ያግኙን።

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቻክ ቁልፍ ዝርዝሮች

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቻክ በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ አተገባበር

የዋፈር ምርመራ እና ሜትሮሎጂ

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹክ ከፍተኛ የቦታ ትክክለኛነት እና የገጽታ መረጋጋት በሚያስፈልጋቸው በዋፈር ፍተሻ እና በሜትሮሎጂ ስርዓቶች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። ዝቅተኛ ንክኪ ያለው የፒን ዲዛይን እጅግ በጣም ጥሩ የዋፈር ጠፍጣፋነት እና የመለኪያ ተደጋጋሚነት በመጠበቅ የኋላ ብክለትን ለመቀነስ ይረዳል።

የሊቶግራፊ እና የዋፈር አሰላለፍ ስርዓቶች

በተራቀቁ የሊቶግራፊ ሂደቶች ውስጥ፣ የዋፈር መረጋጋት በቀጥታ የተደራቢ ትክክለኛነትን ይነካል። SiC Pin Chuck በጣም ጥሩ የሙቀት እና የሜካኒካል መረጋጋት ያለው ትክክለኛ የዋፈር ድጋፍ ይሰጣል፣ ይህም የአሰላለፍ ትክክለኛነትን እና የሂደቱን አስተማማኝነት ለማሻሻል ይረዳል።

የሙቀት ማቀነባበሪያ እና ማቀነባበር

እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ ችሎታ እና የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም ምክንያት፣ SiC Ceramic Pin Chuck ለፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP)፣ ለማቅለጥ እና ለከፍተኛ የሙቀት መጠን ዋፈር ህክምና ተስማሚ ነው።

የተረጋጋ የሙቀት አፈፃፀሙ ወጥ የሆነ ማሞቂያ ለማግኘት፣ የዋፈር ውጥረትን ለመቀነስ እና የሂደቱን ወጥነት ለማሻሻል ይረዳል።

የሲቪዲ፣ የPVD እና የፕላዝማ ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹክ በማጠራቀሚያ እና በፕላዝማ ማቀነባበሪያ ስርዓቶች ውስጥም ይተገበራል፣ እዚያም ክፍሎች ከፍተኛ ሙቀትን፣ ምላሽ ሰጪ ጋዞችን እና የፕላዝማ መጋለጥን መቋቋም አለባቸው።

ጥ 1፡ የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቻክ ምንድን ነው?

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹክ ከፍተኛ ንፁህ ሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ የተሰራ ትክክለኛ የዋፈር ድጋፍ አካል ነው። በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ወቅት የተረጋጋ አቀማመጥን በመጠበቅ የዋፈር ግንኙነትን ለመቀነስ የፒን መዋቅር ይጠቀማል።

ጥ 2፡ ከአሉሚኒየም ወይም ከኳርትዝ ይልቅ የሲሲ ሴራሚክ ለምን ይመርጣሉ?

ሲሲ የሚከተሉትን ያቀርባል-

የሙቀት ምጣኔ

ኬሚካዊ መቋቋም

ሜካኒካዊ ጥንካሬ

የፕላዝማ መቋቋም

ለላቁ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች የበለጠ ተስማሚ ያደርገዋል።

ጥ 3፡ ሴሚክስላብ የSiC ፒን ቹክ ልኬቶችን ማበጀት ይችላል?

አዎ። ሴሚክስላብ መጠንን፣ የፒን መዋቅርን፣ የወለል አጨራረስን እና የቁሳቁስ ዝርዝሮችን ጨምሮ የኦሪጂናል ዕቃ አምራች/ኦዲኤም ማበጀትን ያቀርባል።

Q4: ምን አይነት የዋፈር መጠኖች ይደገፋሉ?

የሲሲ ሴራሚክ ፒን ቹኮች ለሚከተሉት ሊበጁ ይችላሉ፦

100mm

150mm

200mm

300ሚሜ ዋፈርስ

በደንበኛ መሳሪያዎች መስፈርቶች መሠረት።