ጋሻ 150ሚሜ ስፓተር ኤች

የሺልድ 150ሚሜ ስፓተር ኤች 0200-09083 ለ150ሚሜ ዋፈር ስፓተር ኤች ስርዓቶች የተነደፈ ትክክለኛ የሴሚኮንዳክተር ክፍል አካል ነው። ይህ ጋሻ በፕላዝማ ማቀነባበሪያ ክፍሎች ውስጥ የተጫነ ሲሆን የውስጥ ክፍል መዋቅሮችን ከቀጥታ የፕላዝማ መጋለጥ፣ ከተፈጩ ቅንጣቶች እና ከሂደት ተረፈ ምርቶች በመጠበቅ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። ከከፍተኛ ንፁህ ሴሚኮንዳክተር ደረጃ ቁሳቁሶች የተመረተ ነው። የተመቻቸ ጂኦሜትሪው የተከማቸ ክምችትን ለመቆጣጠር፣ የክፍል ንፅህናን ለመጠበቅ እና ወጥ የሆነ የዋፈር ሂደት እንዲኖር የተረጋጋ የፕላዝማ ሁኔታዎችን ለመደገፍ ይረዳል። እንደ ቁልፍ የክፍል መከላከያ አካል፣ የሺልድ 0200-09083 የመሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ለማራዘም፣ የብክለት አደጋዎችን ለመቀነስ እና አጠቃላይ የሂደት መረጋጋትን ለማሻሻል ይረዳል። ጥያቄዎን ለመቀበል በጉጉት እንጠባበቃለን።

የምርት አጠቃላይ እይታ

SHIELD 150ሚሜ SPUTTER ETCH 0200-09083 ለስፓተር ቅርፊት እና ለገጽታ ዝግጅት ሂደቶች ጥቅም ላይ በሚውሉ የፕላዝማ ማቀነባበሪያ ስርዓቶች ውስጥ የተጫነ የክፍል መከላከያ ክፍል ነው። በተለይ ለ150ሚሜ ዋፈር ማቀነባበሪያ መድረኮች የተነደፈ ሲሆን የክፍሉ ውስጣዊ የመከላከያ መዋቅር አካል ነው።

ዋና የምርት መረጃ

በ sputter etch ሞጁሎች ውስጥ፣ ጋሻው ስሱ የክፍሉን ሃርድዌር ከፕላዝማ መጋለጥ እና ከተከማቸ ክምችት የሚያገልል የመከላከያ መከላከያ ሆኖ ያገለግላል።

ጋሻው እንደ ውስጣዊ የክፍል አርክቴክቸር አካል፣ የተረጋጋ የማቀነባበሪያ አካባቢ እና አስተማማኝ የመሳሪያ አሠራር እንዲኖር አስተዋጽኦ ያደርጋል።

የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ያለው ተግባር

በ sputter etch ስርዓቶች ውስጥ፣ Shield 0200-09083 የክፍል አፈጻጸምን እና የ wafer ማቀነባበሪያ ጥራትን በቀጥታ የሚነኩ በርካታ አስፈላጊ ተግባራትን ያከናውናል።

የክፍል ጥበቃ

ጋሻው የተበተኑ ቅንጣቶች እና ምላሽ ሰጪ ፕላዝማ በቀጥታ የክፍሉን ግድግዳዎች እና ወሳኝ ሃርድዌር እንዳይነኩ የሚከላከል የመስዋዕትነት መከላከያ ንብርብር ሆኖ ያገለግላል።

የተከማቸ እና የፕላዝማ ተጋላጭነትን በመምጠጥ፣ ውድ የሆኑ የክፍል ክፍሎችን የአገልግሎት ዘመን ለማራዘም ይረዳል።

የቅንጣት እና የማስቀመጫ ቁጥጥር

በአፕተር መቅረጽ ሂደቶች ወቅት፣ ቅንጣቶችና የቁሳቁስ ክምችት በክፍሉ ውስጥ ሊከማቹ ይችላሉ። ጋሻው ከዚህ ቁሳቁስ ውስጥ አብዛኛውን ይይዛል፣ ይህም የሚከተሉትን ለማድረግ ይረዳል፡

● የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሱ

● የክፍል ንፅህናን ማሻሻል

● የተረጋጋ የሂደት ሁኔታዎችን ይጠብቁ

የፕላዝማ ድንበር ማረጋጊያ

የጋሻው አካላዊ ጂኦሜትሪ በክፍሉ ውስጥ ያለውን የፕላዝማ ክልል ለመለየት ይረዳል። ይህ ለተረጋጋ የአዮን ስርጭት እና ወጥ የሆነ የሂደት አፈጻጸም አስተዋጽኦ ያደርጋል።

የቁልፍ ክፍሎች ጥበቃ

ጋሻው እንደሚከተሉት ያሉ ስሜታዊ የሆኑ የክፍል ክፍሎችን ለመጠበቅ ይረዳል:

● ኤሌክትሮስታቲክ ቹኮች

● የማሞቂያ ስብስቦች

● የክፍል ሽፋኖች

● የጋዝ ማከፋፈያ መዋቅሮች

ጋሻው ቀጥተኛ የፕላዝማ መጋለጥን በመገደብ አስተማማኝ የረጅም ጊዜ የመሳሪያ አሠራርን ይደግፋል።

ቁሳቁስ እና ጥቅሞች

0200-09083 ስፑተር ኤች ሺልድ በተለምዶ የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ኳርትዝ ሲሆን ይህም በፕላዝማ አካባቢዎች ባለው እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም ምክንያት በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውል ቁሳቁስ ነው።

የከፍተኛ ንፅህና ኳርትዝ ጥቅሞች

አስደናቂ የፕላዝማ መቋቋም; ኳርትዝ ለአዮን ቦምብ ድብደባ እና ለፕላዝማ መሸርሸር ጠንካራ የመቋቋም ችሎታ ያሳያል፣ ይህም ለረጅም ጊዜ ለሚረጩ ሂደቶች መጋለጥን እንዲቋቋም ያስችለዋል።

እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብክለት አደጋ፦ ሴሚኮንዳክተር-ግሬድ ኳርትዝ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብረት ቆሻሻዎችን የያዘ ሲሆን ይህም በዋፈር ሂደት ወቅት የንጥረ ነገር ብክለትን ለመቀነስ ይረዳል።

በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት; የተቀላቀለ ኳርትዝ በፕላዝማ ክፍሎች ውስጥ በብዛት በሚከሰቱት ከፍተኛ የሙቀት መጠኖች እና ፈጣን የሙቀት ዑደት ውስጥ መዋቅራዊ አቋሙን ይጠብቃል።

የኤሌክትሪክ መከላከያ; ኳርትዝ በኤሌክትሪክ የሚከላከል ቁሳቁስ ሲሆን ይህም የተረጋጋ የኤሌክትሪክ መስኮችን ለመጠበቅ እና በሂደቱ ክፍል ውስጥ የፕላዝማ ወጥነትን ለማሻሻል ይረዳል።

የኬሚካል ተኳኋኝነት; ኳርትዝ በስፖንተር ኢች ሂደቶች ውስጥ ጥቅም ላይ ለሚውሉ ምላሽ ሰጪ ጋዞች ጠንካራ ተቃውሞ ያሳያል፣ ይህም የረጅም ጊዜ መረጋጋትን እና አነስተኛ መበላሸትን ያረጋግጣል።

እነዚህ የቁሳቁስ ባህሪያት ኳርትዝ ለፕላዝማ የተጋለጡ ሴሚኮንዳክተር ክፍል ክፍሎች ተስማሚ ምርጫ ያደርጉታል።