ከፍተኛ ንፅህና SiC Wafer ጀልባ

ለ4-12 ኢንች ማምረቻ የተመቻቹ የሙቀት መስክ መፍትሄዎች

ታዋቂ ፋብስ ከኳርትዝ ወደ ሲሲ ጀልባዎች ለምን እየተቀየሩ ነው?

በዲቪቲሪፊኬሽን ምክንያት በ1150∘ሴ የማይቀር ከሚከሰተው ኳርትዝ የላቀ፣ የእኛ የሲሲ ጀልባዎች በከፍተኛ የሙቀት ጫና ስር ፍጹም የጂኦሜትሪክ ትክክለኛነትን ይይዛሉ። በከፍተኛ ጥግግቱ ምክንያት፣ የሲቪዲ ሲሲ ማትሪክስ በትራኩ ላይ የቅንጣት መፍሰስን ያቆማል። የዛሬው ንዑስ-ማይክሮን የማምረቻ ሂደቶች 'ዜሮ-ሽርሽር' ፍላጎቶችን ለማስተናገድ በተለይ የተገነባ ነው።

የእኛ ክፍሎች ከኳርትዝ የበለጠ ኃይለኛ የHF/HNO3 ጽዳትን በተሻለ ሁኔታ ያስተናግዳሉ፣ ረዘም ላለ ጊዜ የሚቆዩ እና የመተኪያ ወጪዎችን የሚቀንሱ ናቸው። ለፈጣን እና ለተመጣጠነ ማሞቂያ በተመቻቸ የሙቀት አስተዳደር፣ ከፍተኛ መጠን ባለው ምርት ውስጥ ከ4 ኢንች እስከ 12 ኢንች ዋፈርዎች የሚያስፈልገውን የሂደት መረጋጋት ይሰጣሉ።

የባለሙያ ግንዛቤዎች

በገጽታ ደረጃ ላይ ባሉ ሽፋኖች ላይ በጣም ጥገኛ ከሚሆኑት ባህላዊ ግራፋይት ጀልባዎች በተለየ፣ የሴሚክስላብ ሞኖሊቲክ SiC-on-SiC አርክቴክቸር በንጣፍ እና በቆዳ መካከል ያለውን መዋቅራዊ "አለመጣጣም" ያስወግዳል። በመላው ክፍል ውስጥ ያሉትን የማስፋፊያ ኮፊሸንቶችን በማጣመር፣ የመርዛማ ኢንዱስትሪውን ሥር የሰደደ ራስ ምታት ፈትተናል። ለ8 ኢንች እና ለ12 ኢንች ከፍተኛ መጠን ላላቸው ጨርቆች፣ ይህ የቁሳቁስ ማሻሻያ ብቻ አይደለም - የ TCO አብዮት ነው። የአገልግሎት ህይወት ከመደበኛ ኳርትዝ 5 እጥፍ በላይ በመሆኑ፣ ጠንካራ የሲሲ ጀልባዎቻችን የሚበላውን ወጪ ወደ ረጅም ጊዜ የምርት ሀብት ይለውጣሉ።

ቴክኒካዊ ዝርዝሮች እና ማበጀት።

ሁሉንም ነገር ከእርስዎ የተለየ የምድጃ አቀማመጥ ጋር እንዲስማማ ማድረግ እንችላለን - አግድም ይሁን ቀጥ ያለ - እና ከትክክለኛው የዋፈር አያያዝ ፍላጎቶችዎ ጋር ማስተካከል እንችላለን።

የተለመዱ መተግበሪያዎች 

የእኛ የሲሲ ጀልባዎች በጣም አስቸጋሪ ለሆኑ የጨርቅ ሁኔታዎች የተገነቡ ናቸው። ምንም እንኳን የH2 ቅርፊት ቢኖርም በSi/SiC Epitaxy ወቅት ቅርጻቸውን በትክክል ይይዛሉ፣ እና ከፍተኛ ንፅህናቸው ብክለት አደጋ ላይ ለሚጥልባቸው የስርጭት ሂደቶች ሕይወት አድን ነው። ለALD እና LPCVD፣ ፊልሙ በሁሉም ዋፈሮች ላይ በእኩል እንዲከማች ለማድረግ እንደ የተረጋጋ የሙቀት መጠን ሆነው ያገለግላሉ።

የሲሲ የጀልባ ሽፋን የሲቪዲ ሂደት ንድፍ፣ የ7N ንፁህነትን እና ወጥ የሆነ ጥግግትን ያረጋግጣል

1) 7N እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (CVD Encapsulation) መሰረታዊ ሽፋን ከማድረግ ይልቅ፣ 99.99999% የሆነ ዓለም አቀፍ ንፅህናን ለመቆለፍ ከፍተኛ ጥግግት ያለው CVD SiC encapsulation እንጠቀማለን። እንደ IGBTs እና MOSFETs ላሉ ከፍተኛ ቮልቴጅ ላላቸው የኃይል መሳሪያዎች፣ ይህ አማራጭ አይደለም - ይህ የብረት ቆሻሻዎችን (Fe፣ Ni፣ Cu) ከአስከፊ የፍሳሽ ፍሰት ማስነሳት ለመከላከል ብቸኛው መንገድ ነው።

2) በትክክለኛነት የተደገፈ የስሎት ጂኦሜትሪ "አንድ መጠን ለሁሉም ይስማማል" አናደርግም። ለደካማ እና ቀጭን-ዋፈር አያያዝ መደበኛ የV-ግሩቭ ወይም ልዩ የዩ-ስሎት ቢያስፈልግዎ፣ የኛ የ CNC ማዕከላት እስከ ±0.05ሚሜ ድረስ መቻቻልን ይይዛሉ። ይህ እጅግ በጣም ትክክለኛነት በምንጩ ላይ የዋፈር መንቀጥቀጥን ይገድላል እና በከፍተኛ ፍጥነት በሚደረጉ የሮቦት ዝውውሮች ወቅት የጠርዝ-ውጥረትን ይቀንሳል።

3) የተመቻቸ የሥራ ዑደት እና የCTE ማዛመድ በተሸፈኑ ጀልባዎች ውስጥ ትልቁ የመውደቅ ነጥብ ዴላሚኔሽን ነው። የሽፋኑን የመተሳሰሪያ ጥንካሬ የንዑስ ክፍሉን የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት (CTE) በትክክል እንዲያንጸባርቅ በማስተካከል ይህንን ፈትተናል። ውጤቱስ? ሽፋኑ ከመሠረቱ ቁሳቁስ ሳይላቀቅ ወይም ሳይላጥ በኦክሳይድ እና ስርጭት ምድጃዎች ውስጥ የማያቋርጥ የሙቀት ዑደትን የሚቋቋም ጀልባ።