ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ዋፈር ጀልባ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስክ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያላቸው ሂደቶች ለዋፈር ተሸካሚዎች ከፍተኛ ተግዳሮቶችን ይፈጥራሉ። የሙቀት መጠኑ ከ1600℃ ሲበልጥ፣ ባህላዊው የኳርትዝ ተሸካሚ (ዋፈር ያገለገለው የኳርትዝ ጀልባ) ማለስለስ፣ መበላሸት እና ብክለትን መልቀቅ ይጀምራል፣ ይህም የዋፈር ቆሻሻ መጠን ከፍ እንዲል ያደርጋል።

ከፍተኛ ንፅህና ያለው የሲሲ ዋፈር ጀልባ፣ የሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ውስጣዊ የቁሳቁስ ጥቅሞች ያሉት፣ ይህንን የኢንዱስትሪ ህመም ነጥብ ሙሉ በሙሉ ይፈታል እና ለላቀ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ፣ በተለይም የሲሲ የኃይል መሣሪያ ምርት አስፈላጊ መሣሪያ ይሆናል።

የምርቱ ዋና አካላዊ ባህሪያት እና ቴክኒካዊ መለኪያዎች፡

የሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈር ተሸካሚ (SiC Wafer Carrier) እጅግ በጣም ጥሩ አፈጻጸም የመጣው ልዩ ከሆነው የቁሳዊ ሳይንስ ባህሪያቱ ነው። ከዚህ በታች የቁልፍ አካላዊ መለኪያዎች ዝርዝር ንጽጽር ቀርቧል፡

እነዚህ መለኪያዎች በቀጥታ በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የተሻሻለ ምርት እና ወጪዎችን ወደ መቀነስ ይተረጉማሉ፣ እንደሚከተለው ይታያል፡

የሙቀት አፈጻጸም ጥቅም፡ የሲሲ ሰፊ የባንድ ክፍተት (3.26 eV) በ2000°ሴ የተረጋጋ የክሪስታል መዋቅር እንዲይዝ እና የሙቀት ለውጥ እንዳይኖር ያደርጋል። ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ (4.9 W/cm·K) ዋፈርን በእኩል እንዲሞቅ እና በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚከሰቱ የላቲስ ጉድለቶችን ያስወግዳል።

የሜካኒካል ጥንካሬ፡ 9.2 የሞህስ ጥንካሬ በሂደቱ ወቅት አካላዊ ተጽዕኖን ይቋቋማል፣ እና የአገልግሎት ህይወቱ ከባህላዊው የኳርትዝ ተሸካሚዎች 10 እጥፍ ይበልጣል። ልዩ የሆነው ከፊል ክብ ቅርጽ ያለው የመክፈቻ ንድፍ ከ 5MPa በታች ያለውን የዋፈር ግንኙነት ውጥረትን ይቆጣጠራል፣ በመሠረቱ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የመንሸራተት ክስተትን ያስወግዳል።

የኬሚካል አለመቻቻል፡ እንደ HF እና HCl ላሉ ከፍተኛ ዝገት ላላቸው ጋዞች የመቋቋም አቅም ከ10,000 ሰዓታት በላይ ሲሆን በLPCVD፣ በስርጭት፣ በኦክሲዴሽን እና በሌሎች ሂደቶች ውስጥ ምንም አይነት ብክለት አይጠበቅም።

የከፍተኛ ንፅህና SiC Wafer ጀልባ ቁልፍ ሚና

የእኛ ከፍተኛ ንፅህና SiC Wafer ጀልባ በሚከተሉት ቁልፍ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፡

ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው አኒሌሽን፡ በሲክ ዋፈር አምራች የምርት መስመር ውስጥ፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው አኔሊንግ ዶፓንቶችን ለማግበር እና የላቲስ ጉድለቶችን ለመጠገን ቁልፍ እርምጃ ነው። የሲሲ ዋፈር ጀልባ ከፍተኛ የሙቀት መጠን መረጋጋት የአኔሊንግ ሂደቱን ወጥነት እና ውጤታማነት ያረጋግጣል።

የኤፒታክሲያል እድገት፡ በሲሊኮን ላይ የተመሠረተ ኤፒታክሲ ወይም በሲሊኮን ካርቦይድ ዋፈር ኤፒታክሲ ይሁን፣ የሲሲ ዋፈር ጀልባ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ከፍተኛ ጥራት ያለው የኤፒታክሲያል ንብርብር እድገትን ለማረጋገጥ ተስማሚ ተሸካሚ ያደርገዋል።

ስርጭት: በከፍተኛ ሙቀት በሚሰራጭ ምድጃ ውስጥ፣ በኤልፒሲቪዲ ዋፈር ጀልባ ውስጥ ያለው የሲሲ ዋፈር ጀልባ የዶፒንግ አቶሞች ወጥ የሆነ ስርጭትን ለማረጋገጥ እና ትክክለኛ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ለመፍጠር የረጅም ጊዜ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሕክምናን መቋቋም ይችላል።

ቀጭን ፊልም ማስቀመጥ; በተለይም ለ Lpcvd wafer ጀልባ አፕሊኬሽኖች፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የቅንጣት መፍሰስ እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት ያላቸው የሲሲ ዋፈር ጀልባዎች ከፍተኛ ጥራት ያላቸው እና ከፍተኛ ወጥነት ያላቸው ፊልሞችን ለማግኘት ይረዳሉ።

ተኳሃኝ መሣሪያዎች እና የሂደት ተኳሃኝነት፡

✔ ከዋና ዋና የLPCVD ምድጃዎች (እንደ TEL፣ Kokusai፣ ASM፣ SVG፣ Tystar፣ ወዘተ) ጋር ተኳሃኝ

✔ እንደ 100ሚሜ/150ሚሜ/200ሚሜ ያሉ ሊበጁ የሚችሉ የዋፈር ዝርዝሮች

✔ አግድም እና ቀጥ ያለ የሂደት መሳሪያዎችን መጫን ይደግፋል

የሴሚክስላብ ሲሲ ዋፈር ጀልባ የሂደት ቅልጥፍናዎን እና የምርት ምርታማነትን ለማሻሻል ተስማሚ ምርጫ ሲሆን በተራቀቁ የሴሚኮንዳክተር ዋፈር ጀልባ መፍትሄዎች ውስጥ ግንባር ቀደም ነው።

የሴሚክስላብ ምርቶች ሱቆች