ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ wafer

ሴሚክስላብ ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ ዋፈር ለሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ አካባቢዎች የተነደፈ ትክክለኛ ጥራት ያለው፣ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ያለው የተጣመረ የሲሊካ ንጣፍ ነው።

በሙቀት ኦክሳይድ፣ በሲቪዲ/ኤልፒሲቪዲ፣ በፒኢሲቪዲ እና በሊቶግራፊ ሲስተሞች ውስጥ እንደ አስመሳይ ዋፈር፣ ተሸካሚ ዋፈር፣ የኦፕቲካል ንጣፎች እና የፎቶማስክ መሰረት በስፋት ይተገበራል።

ይህ የኳርትዝ ዋፈር ከ99.99% ከፍተኛ ንፅህና ካለው SiO₂ የተሰራ ሲሆን እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት፣ የኬሚካል ኢንተለጀንስ እና የኦፕቲካል ግልጽነት ያለው ሲሆን በተራቀቁ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መስመሮች ውስጥ የተረጋጋ እና ከብክለት የጸዳ አሠራርን ያረጋግጣል።

Ⅰ. የቁሳቁስ እና የገጽታ ባህሪያት

● ቁሳቁስ፡ ሰው ሰራሽ ወይም ተፈጥሯዊ የተዋሃደ ሲሊካ (SiO₂ ≥ 99.99%)።

● የዲያሜትር አማራጮች፡ 2", 4", 6", 8", 12" (ብጁ መጠኖች ይገኛሉ)።

● የገጽታ አጨራረስ፡ ባለ ሁለት ጎን የተወለወለ፣ ጠፍጣፋነት ≤ 5 μm፣ የገጽታ ሸካራነት ≤ 0.5 nm።

● የሙቀት መቋቋም፡ እስከ 1200°ሴ ድረስ ቀጣይነት ያለው አሠራር።

● የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት፡ 5.5 × 10⁻⁷ /°ሴ።

● የኦፕቲካል ማስተላለፊያ፡ ከ190 nm እስከ 2,600 nm ከ90% በላይ።

እያንዳንዱ ዋፈር ከሴሚኮንዳክተር-ደረጃ መስፈርቶች ጋር ሙሉ በሙሉ መጣጣሙን ለማረጋገጥ ጥብቅ የገጽታ ፍተሻ፣ የልኬት ማረጋገጫ እና የንፅህና ትንተና ይደረግበታል።

Ⅱ. በሴሚኮንዳክተር ሂደቶች ውስጥ ቁልፍ ተግባራት

1. በሲቪዲ እና በኤልፒሲቪዲ ስርዓቶች ውስጥ የሂደት አቅራቢ

የኳርትዝ ዋፈርዎች በSiO₂፣ Si₃N₄ እና ፖሊሲሊከን ቀጭን-ፊልም ክምችት ወቅት የጋዝ ፍሰትን እና የሙቀት መጠንን ተመሳሳይነት ለማረጋጋት እንደ ዱሚ ወይም ስፔሰር ዋፍ ጥቅም ላይ ይውላሉ። የእነሱ ልኬት ትክክለኛነት በማጠራቀሚያ ዑደቶች ውስጥ ወጥ የሆነ የፊልም እድገት እና አነስተኛ የቅንጣት ማመንጨትን ያረጋግጣል።

2. የኦክሳይድ እና የስርጭት ምድጃ አፕሊኬሽኖች

በከፍተኛ ሙቀት ኦክሳይድ እና በዶፓንት ስርጭት ሂደቶች ውስጥ፣ የኳርትዝ ዋፈርዎች እንደ የሙቀት መከላከያ ወይም የሂደት መቆጣጠሪያ ሆነው ያገለግላሉ፣ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭትን ይጠብቃሉ እና የምርት ዋፈርዎችን ብክለት ይከላከላሉ።

3. የኦፕቲካል እና የሊቶግራፊ አጠቃቀም

ከፍተኛ የኦፕቲካል ማስተላለፊያ እና የማጣቀሻ ኢንዴክስ ወጥነት ስላለው፣ የኳርትዝ ዋፈር ለፎቶማስክ ማምረቻ፣ ለ DUV ተጋላጭነት ንጣፎች እና ለኦፕቲካል መለኪያ መሳሪያዎች ተስማሚ ነው። ለ i-line፣ KrF እና ArF ሊቶግራፊ ስርዓቶች ወጥ የሆነ የብርሃን ስርጭትን ያረጋግጣል።

4. የፕላዝማ እና የመቅረጽ አካባቢዎች

በደረቅ ኢቺንግ እና በፕላዝማ CVD ስርዓቶች ውስጥ፣ የኳርትዝ ዋፈርዎች እንደ የክፍል ጋሻዎች ወይም የፕላዝማ መስኮቶች ጥቅም ላይ ይውላሉ፣ ይህም እጅግ በጣም ጥሩ ዳይኤሌክትሪክ ጥንካሬ እና በሃሎጅን ላይ የተመሰረቱ ጋዞችን (CF₄፣ SF₆፣ Cl₂) ላይ የኬሚካል ጥንካሬን ይሰጣል።

5. የሜትሮሎጂ እና የመሳሪያዎች ማስተካከያ

የኳርትዝ ዋፈርዎች ለፊልሙ ውፍረት፣ የሙቀት መጠን እና ጠፍጣፋነት መለኪያ እንደ ማጣቀሻ ዋፈር ያገለግላሉ። እጅግ በጣም ለስላሳ፣ ጉድለት የሌለበት ገጽታቸው ትክክለኛ እና ተደጋጋሚ የመለኪያ ውጤቶችን ያስገኛል፣ ይህም የሂደት ቁጥጥር መረጋጋትን ያረጋግጣል።

የተለመዱ መተግበሪያዎች

● ለሲቪዲ፣ ለኤልፒሲቪዲ እና ለፒኢሲቪዲ ስርዓቶች የሚውል አስመሳይ ዋፈር

● በኦክሳይድ እና ስርጭት ምድጃዎች ውስጥ የሂደት ተሸካሚ ወይም የሙቀት መከላከያ

● ለ UV/DUV ሊቶግራፊ የፎቶማስክ ንጣፍ

● ለመሳሪያዎች መለኪያ እና ሜትሮሎጂ የማጣቀሻ ዋፈር

● የፕላዝማ ክፍል መስኮት እና የመቅረጽ ሂደት መከላከያ

ሴሚክስላብ ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ ዋፈር በጣም ለሚያስፈልጉ የሴሚኮንዳክተር ሂደቶች የተነደፈ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው ንጣፍ ነው። የሙቀት መረጋጋት፣ የኦፕቲካል ትክክለኛነት እና የኬሚካል ንፅህናው በዲፖዚሽን፣ ኦክሲዴሽን፣ ሊቶግራፊ እና ሜትሮሎጂ አፕሊኬሽኖች ውስጥ አስፈላጊ ያደርገዋል። በተሟላ የማበጀት እና የምህንድስና ድጋፍ፣ ሴሚክስላብ የሂደቱን ወጥነት፣ አስተማማኝነትን እና የአሠራር ቅልጥፍናን ከፍ የሚያደርጉ መፍትሄዎችን ያቀርባል። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን ከልብ ተስፋ እናደርጋለን።