ሁሉም ምድቦች
የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን

የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን

ቤት> ምርቶች > CVD ሽፋን > የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን

ሲሲ ፕሌት ለአይሲፒ ማሳከክ
የፕላዝማ ቅርፊት ተሸካሚ
ሲሲ ፕሌት ለአይሲፒ ማሳከክ
የፕላዝማ ቅርፊት ተሸካሚ

ሲሲ ፕሌት ለአይሲፒ ማሳከክ


የሴሚክስላብ የሲሲ ፕሌት ለአይሲፒ ኢቺንግ በኤልኢዲ ኢንዱስትሪ የፕላዝማ ኢቺንግ ሂደቶች ውስጥ እንደ ዋፈር መያዣ ሆኖ እንዲያገለግል በተለይ የተነደፈ ነው። እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ ለፕላዝማ ድንጋጤ ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታ እና የላቀ የሙቀት ወጥነት ያለው ይህ ምርት የተረጋጋ፣ ትክክለኛ እና ጉድለት የሌለበት የኢቺንግ አፈፃፀምን ያረጋግጣል። በተለያዩ መደበኛ መጠኖች የሚገኝ እና የተወሰኑ የሂደት ፍላጎቶችን ለማሟላት ሊበጅ የሚችል፣ ሴሚክስላብ ለሴሚኮንዳክተር ባለሙያዎች አስተማማኝ ጥራት፣ ፈጣን አቅርቦት እና የታመነ ድጋፍ ይሰጣል። ምክክርዎን በጉጉት እጠብቃለሁ።

መግለጫ

የባህሪ መስፈርቶች፡ ለፍላጎት ላላቸው የፕላዝማ አካባቢዎች የተመቻቸ

የ ICP መቅረጽ አካባቢዎችን ጥብቅ ፍላጎቶች ለማሟላት፣ የ SiC ሳህን የሚከተሉትን ዋና ዋና ባህሪያት ሊኖረው ይገባል፡

● እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት

ሲሲ እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል አለው፣ ይህም እንደ ኳርትዝ ወይም አሉሚና ካሉ ባህላዊ ቁሳቁሶች እጅግ የላቀ ነው። ይህ ማለት በመቅረጽ ሂደት ወቅት የሚፈጠረውን ሙቀት ከዋፈር ርቆ በብቃት ሊያስተላልፍ ይችላል፣ ይህም የአካባቢውን ከመጠን በላይ ሙቀት በብቃት ይከላከላል።

ጥቅሞች: በዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ የሙቀት መጠን መኖሩን ያረጋግጡ፣ ይህም ከፍተኛ ወጥ የሆነ የጥልቅነት ጥልቀት እና ወሳኝ የልኬት (ሲዲ) ቁጥጥር እንዲኖር ያደርጋል፣ ምርትን በእጅጉ ያሻሽላል እና የዋፈር ቆሻሻን ይቀንሳል።

● የላቀ የፕላዝማ ድንጋጤ መቋቋም

በ ICP etching የፕላዝማ አካባቢ፣ ቁሱ ከፍተኛ ኃይል ያለው የአዮን ቦምብ ድብደባ እና የንቁ ነጻ ራዲካሎች ኬሚካላዊ ዝገት ይገጥመዋል። SiC በተለይ በፍሎሪን ወይም ክሎሪን ባላቸው የetching ጋዞች ውስጥ እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መቋቋም አለው።

ጥቅሞች: የዋፈር ተሸካሚውን የአገልግሎት ዘመን በእጅጉ ያራዝሙ፣ የመተኪያ ድግግሞሽንና የእረፍት ጊዜን ይቀንሱ፣ በዚህም የአሠራር ወጪዎችን ይቀንሳሉ እና የመሳሪያዎችን አጠቃቀም ያሻሽላሉ። በተመሳሳይ ጊዜ፣ የተረጋጋ የቁሳቁስ ባህሪያት የቅንጣት ብክለት አደጋን ይቀንሳሉ።

● እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መጠን ወጥነት

ከከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ጋር ተጣምሮ፣ የSiC ተሸካሚዎች በጠቅላላው የዋፈር ወለል ላይ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ወጥነት መጠበቅ ይችላሉ። ይህ በተለይ እንደ GaN ላሉ ስሱ ቁሳቁሶች ትክክለኛ የሆነ የመቅረጽ ስራ ወሳኝ ነው።

ጥቅሞች: ለእያንዳንዱ መሳሪያ ወጥ የሆነ የመቅረጽ ስራን ያረጋግጡ፣ የመሳሪያውን የአፈጻጸም ልዩነቶች ይቀንሱ፣ እና ለ LED ምርቶችዎ የላቀ ጥራት እና አስተማማኝነት ያቅርቡ።

እነዚህ የአፈጻጸም ባህሪያት በ LED Wafer ማምረቻ ውስጥ ተደጋጋሚ እና ትክክለኛ የሆነ ቅርፊት ለማግኘት አስፈላጊ ናቸው።

ያልተፈታ

ሴሚክስላብ ለምን ይምረጡ፡- ብጁ መፍትሄዎች። አስተማማኝ ጥራት

ሴሚክስላብን መምረጥ ማለት አፈጻጸምን፣ አስተማማኝነትን እና ብጁ አገልግሎቶችን መምረጥ ማለት ነው፡

1. የተለያዩ ዝርዝር መግለጫዎች አሉ፣ እና ብጁ አገልግሎቶች ይሰጣሉ፡

የተለያዩ የICP ቅርፊት መሳሪያዎችና ሂደቶች ለዋፈር ተሸካሚ መጠን፣ ለቀዳዳ አቀማመጥ እና ለመቆንጠጫ ዘዴ ልዩ መስፈርቶች እንዳላቸው በሚገባ እናውቃለን። ሴሚክስላብ ለዋና ዋና የገበያ ፍላጎቶች ለማሟላት የተለያዩ የSiC ዋፈር ተሸካሚዎችን መደበኛ ዝርዝር መግለጫዎችን ይሰጣል።

ከሁሉም በላይ ደግሞ ሙያዊ የማበጀት አገልግሎቶችን እንሰጣለን። ልዩ መጠኖች፣ ውስብስብ የመዋቅር ዲዛይኖች ወይም ለተወሰኑ ሂደቶች ማመቻቸት ቢያስፈልግዎት፣ የእኛ የምህንድስና ቡድን ለእርስዎ ተስማሚ የሆኑ መፍትሄዎችን ለማቅረብ ከእርስዎ ጋር በቅርበት ሊሰራ ይችላል። ይህ ማለት ከመሳሪያዎችዎ እና ከሂደትዎ ጋር በትክክል የሚስማማ አገልግሎት ሰጪ ማግኘት ይችላሉ፣ ይህም የምርት ቅልጥፍናን እና ምርትን ከፍ ያደርገዋል።

2. የተረጋጋ ጥራት እና ፈጣን አቅርቦት

የእኛ ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር ስርዓት በተለያዩ ቡድኖች ውስጥ ወጥነትን ያረጋግጣል፣ የእኛ ቀልጣፋ የማኑፋክቸሪንግ እና የሎጂስቲክስ አገልግሎት ፈጣን የምርት ጊዜን ያረጋግጣል፣ ይህም ጥብቅ የምርት መርሃ ግብሮችን እንዲያሟሉ ያግዝዎታል።

ትረስት ሴሚክስላብ - የላቀ የፕላዝማ ቅርፊት ውስጥ የእርስዎ የሲሲ ቁሳቁስ አጋር

ሴሚክስላብ የሴሚኮንዳክተር ሽፋን ኢንዱስትሪን በማገልገል ለዓመታት ልምድ ያለው ሲሆን፣ የሂደት መረጋጋትን እና የምርት ጥራትን የሚያሻሽሉ ክፍሎችን ለማቅረብ ጥልቅ የቁሳቁስ እውቀትን፣ ዘመናዊ ማቀነባበሪያን እና የደንበኞችን ትኩረት ያደረገ አገልግሎትን ያጣምራል።

መተግበሪያዎች

አፕሊኬሽን፡ በ LED ኢንዱስትሪ ውስጥ ለ ICP Etching የተቀረፀ

በተራቀቀ የኤልኢዲ ማምረቻ ሂደት ውስጥ፣ ICP (ኢንዳክቲቭሊ ኮፐድ ፕላዝማ) ኢቺንግ በሴሚኮንዳክተር ዋፈርዎች ላይ ትክክለኛ ማይክሮ-ፓተርን ለማሳካት ወሳኝ እርምጃ ነው። የሴሚክስላብ ሲሲ ሳህን በአይሲፒ ኢቺንግ ሂደት ወቅት እንደ እጅግ አስተማማኝ የዋፈር ተሸካሚ ወይም መያዣ ሆኖ ያገለግላል። ጠንካራ የቁሳቁስ ባህሪያቱ በፕላዝማ ሁኔታዎች ውስጥም ቢሆን የሂደቱን መረጋጋት ያረጋግጣሉ፣ ይህም ለከፍተኛ ምርት፣ ከፍተኛ ወጥነት ላላቸው የኤልኢዲ ማምረቻ መስመሮች አስፈላጊ አካል ያደርገዋል።

ያልተፈታ

የምንሰጣቸው አገልግሎቶች

Semixlab የምርት ሱቅ

ያልተፈታ

ጥያቄ

ትኩስ ምድቦች