ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ ዋፈር ጀልባ

ሴሚክስላብ ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ ዋፈር ጀልባዎች በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ እንደ ስርጭት፣ ኦክሳይድ፣ ሲቪዲ፣ አኒሊንግ ወዘተ ላሉ ከፍተኛ የሙቀት ሂደቶች የተነደፉ ቁልፍ ተሸካሚ መሳሪያዎች ናቸው። ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የኬሚካል መረጋጋት እና ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት ካለው ከፍተኛ ንፅህና ሠራሽ ኳርትዝ የተሰራ ሲሆን የሂደቱን ወጥነት እና የምርት ምርት ለማረጋገጥ በከባድ የሂደት አካባቢዎች ውስጥ ዋፈርዎችን በተረጋጋ ሁኔታ መያዝ ይችላል።

የሚመለከታቸው መሳሪያዎች፡- ከሁሉም አይነት አግድም/ቀጥታ ስርጭት ምድጃ (አግድም/ቀጥታ ስርጭት ምድጃ)፣ የLPCVD ስርዓት እና ፈጣን የሙቀት ሕክምና (RTP) መሳሪያዎች ጋር ተኳሃኝ።

የጥራት ማረጋገጫ

ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር፡ 100% የሂሊየም የጅምላ ስፔክትሮሜትሪ የፍሳሽ ማወቂያ (የፍሳሽ መጠን <1×10⁻⁹ mbar·L/s)። ለእያንዳንዱ ባች የቁሳቁስ ንፅህና ሪፖርት (ICP-MS ፈተና) ይሰጣል።

የማረጋገጫ ደረጃዎች፡- ከSEMI F47 ዝርዝር መግለጫዎች ጋር በሚስማማ መልኩ፣ በ ISO 9001:2015 የጥራት አስተዳደር ስርዓት የምስክር ወረቀት በኩል።

የአገልግሎት ሕይወት: በመደበኛ ሁኔታዎች ውስጥ አማካይ የህይወት ዘመን ከ 2 ዓመት በላይ ነው (በሂደቱ ድግግሞሽ እና የሙቀት ሁኔታ ላይ በመመስረት)።

የኳርትዝ ጀልባችንን ለምን እንመርጣለን?

ብጁ አገልግሎቶች፡- በመሳሪያ ሞዴል (TEL፣ Kokusai፣ ASM፣ ወዘተ) እና የሂደት መስፈርቶች መሰረት ብጁ መጠን እና ግንባታ።

ፈጣን ምላሽ፡ መደበኛ የማድረሻ ጊዜ 3 ሳምንታት ነው፣ አስቸኳይ ትዕዛዞች ወደ 10 የስራ ቀናት ሊቀነሱ ይችላሉ።

ዓለም አቀፍ የአገልግሎት አውታረ መረብ፡ የቴክኒክ ምክር፣ የመጫኛ መመሪያ እና ከሽያጭ በኋላ የጥገና ድጋፍ ይሰጣል። የቁሳቁስ ዝርዝሮች።

የፕሮጀክት ዝርዝር መግለጫ

የቁሳቁስ ውህደት የተቀላቀለ ኳርትዝ

ንፅህና ≥99.99% SiO₂

የዋፈር መጠን ተኳሃኝነት 8 "፣ 12" (6" ወይም 18" ሊበጅ ይችላል)

የአሠራር ሙቀት ≤1200°ሴ (ቀጣይነት ያለው) / 1300°ሴ (ከፍተኛ)

የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት (CTE) 0.55×10⁻⁶/°ሴ (20-1000°ሴ)

የወለል ሻካራነት (Ra) ≤0.2μm

መደበኛ አቅም 25/50/100 ታብሌቶች

የሚመለከታቸው የሂደት ጋዞች O₂፣ N₂፣ H₂፣ Ar፣ SiH₄፣ HCl፣ ወዘተ

ከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ/ስርጭት፡ የሲሊኮን ዶፒንግ (ፎስፈረስ፣ የቦሮን ስርጭት)፣ የጌት ኦክሳይድ እድገት።

ቀጭን የፊልም ክምችት፡ LPCVD ፖሊክሪስታሊን ሲሊኮን፣ ሲሊኮን ናይትራይድ (Si₃N₄) ክምችት።

የማቅለጫ ሂደት፡- ከአዮን ተከላ በኋላ የማቅለጫ ሂደት (RTA)፣ የብረት ቅይጥ።

የሶስተኛ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር፡ ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ)፣ ጋሊየም ናይትራይድ (ጋኤን) ኤፒታክሲ ሂደት።

1. የቁሳቁስ ባህሪያት

እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ኳርትዝ (>99.99% SiO₂): በብረት አየኖች (Na+፣ K+፣ Fe³+፣ ወዘተ) የሚመጣ ብክለትን ያስወግዳል እና ለላቁ ሂደቶች (<5nm ኖዶች) የንፅህና መስፈርቶችን ያሟላል።

ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፡- ቀጣይነት ያለው የአሠራር ሙቀት 1200°ሴ፣ ፈጣን የሙቀት መቋቋም 1300°ሴ፣ ምንም አይነት የመበላሸት ወይም የክሪስታላይዜሽን አደጋ የለም።

የኬሚካል አለመቻቻል፡- እንደ HCl፣ H₂፣ O₂፣ SiH₄ እና የአሲድ/አልካላይን አካባቢዎች ያሉ የሂደት ጋዞችን ይቋቋማል። ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ሲውል አይበላሽም።

2. ትክክለኛ ዲዛይን

አወቃቀሩን ማመቻቸት፦

የክፍተቱ ክፍተት ትክክለኛነት ±0.05ሚሜ ሲሆን፣ ትክክለኛ የዋፈር አቀማመጥ (8/12 ኢንች) እና ጭረቶችን ወይም መፈናቀሎችን ይከላከላል።

የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም የሚችል ዲዛይን፣ በፍጥነት መነሳት እና መውደቅ (የማሞቂያ ፍጥነት ≤20°ሴ/ደቂቃ) ጋር መላመድ።

ዝቅተኛ የቅንጣት መፈጠር፡- የንጥረ ነገሮች መያያዝን እና መውደቅን ለመቀነስ ወለሉ እጅግ በጣም ትክክለኛ በሆነ መልኩ የተወለወለ (Ra ≤0.2μm) ነው።

3. የተለያየ ውቅር

የአቅም አማራጭ፡ 25 ቁርጥራጮችን፣ 50 ቁርጥራጮችን፣ 100 ቁርጥራጮችን እና ሌሎች መደበኛ ዝርዝሮችን ይደግፉ፣ እንዲሁም መደበኛ ያልሆነ የመክፈቻ ቁጥር ሊበጁ ይችላሉ።

የአይነት ማስተካከያ፡- ክፍት ጀልባ፣ የተዘጋ ጀልባ ወይም ልዩ የጀልባ አይነት (እንደ የጀልባ የታችኛው አቅጣጫ መተላለፊያ ቻናል ዲዛይን)።

ጥ 1፡ መደበኛ ያልሆነ መጠን ወይም ልዩ ዲዛይን ማቅረብ ይችላሉ?

መ1፡ የሴሚክስላብ አገልግሎት ለብጁ አገልግሎቶች፣ የመጠን ማስተካከያ፣ የሙቀት መጠን የላይኛው ገደብ (የቁሳቁስ ማሻሻል ያስፈልጋል) ወይም የበይነገጽ አይነትን ጨምሮ። ለተወሰኑ መስፈርቶች እባክዎን የሴሚክስላብን የቴክኒክ ቡድን ያነጋግሩ።

Q2: የመሪነት ጊዜ ምን ያህል ነው?

መ2፡ ለመደበኛ ምርቶች የማድረሻ ጊዜ ከ4-6 ሳምንታት ሲሆን፣ ለብጁ ምርቶች የዲዛይን እና የማረጋገጫ ጊዜ ደግሞ ከ2-3 ሳምንታት ነው።

ጥ 3፡ ከሽያጭ በኋላ የቴክኒክ ድጋፍ ይሰጣሉ?

መ3፡ አዎ፣ የዕድሜ ልክ የቴክኒክ ምክክር እና የአደጋ ጊዜ ምላሽ አገልግሎቶችን እንሰጣለን። የመጫን ወይም የአጠቃቀም ችግሮች ካሉ የድጋፍ ቡድኑን በማንኛውም ጊዜ በኢሜል ወይም በስልክ ማግኘት ይቻላል።

ጥ 4፡ ምርቱ የሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ደረጃዎችን ያሟላል?

መ4፡ አዎ፣ የምርት ሂደቱ ከSEMI ደረጃዎች ጋር የሚጣጣም ሲሆን በ ISO 9001 የጥራት አስተዳደር ስርዓት የተረጋገጠ ነው። እያንዳንዱ ባች ከፋብሪካው ከመውጣቱ በፊት የአየር ጥብቅነት፣ የሙቀት መቋቋም እና ንፅህና ይፈተሻል።