የሲሲ ሴራሚክ ሮቦቲክ አርሞች በሴሚኮንዳክተር ፋብስ ውስጥ ትክክለኛ እና የብክለት ቁጥጥርን እንዴት እንደሚያሻሽሉ

በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም ትናንሽ ቅንጣቶች ወይም የአሰላለፍ ስህተቶች እንኳን እንደ ዝቅተኛ ምርት እና ውድ የስራ ማቆም ያሉ ከባድ ችግሮችን ሊያስከትሉ ይችላሉ። በዚህ ምክንያት ዋፈርን ለማንቀሳቀስ የሚያገለግሉት መሳሪያዎች እጅግ በጣም ትክክለኛ እና ንጹህ መሆን አለባቸው። የሲሲ ሴራሚክ ሮቦቲክ ክንዶች በጣም ጥቂት ቅንጣቶችን ስለሚያመነጩ ጠንካራ የተረጋጋ እና ለሙቀትና ለኬሚካሎች የሚቋቋሙ በመሆናቸው ተወዳጅ እየሆኑ መጥተዋል። ከብረት ወይም ከፕላስቲክ ክንዶች በተለየ መልኩ ብክለትን ሳያጣምሙ ወይም ሳያስለቅቁ ተደጋጋሚ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሂደቶችን መቋቋም ይችላሉ። ይህ ማለት ለኢንጂነሮች እና ለፋብ ኦፕሬተሮች ዋፈርዎች ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ ይያዛሉ ማለት ነው ሂደቶች ወጥነት ያላቸው እና ምርቱ በአጠቃላይ በተቀላጠፈ ሁኔታ ይከናወናል ማለት ነው።

የሲሲ ሴራሚክስ ለከፍተኛ ትክክለኛነት ለዋፈር አያያዝ ተስማሚ የሆኑት ለምንድነው?

በሴሚኮንዳክተር ፋብ ውስጥ ዋፈርን ማስተናገድ እጅግ በጣም ስስ ሂደት ነው ምክንያቱም እያንዳንዱ ዋፈር ቀጭን እና በቀላሉ ሊበላሹ በሚችሉ ንብርብሮች የተሸፈነ ነው። በእንቅስቃሴ ወይም በአቀማመጥ ላይ ትንሽ ስህተት እንኳን ምርትን የሚቀንሱ ጉድለቶችን ሊፈጥር ይችላል። እዚህ ላይ ነው የሲሲ ሴራሚክ ሮቦቲክ ክንዶች በጣም ጎልተው ይታያሉ። ከሲሊኮን ካርቦይድ የተሰሩት እነዚህ ክንዶች እጅግ በጣም ጠንካራ እና በከፍተኛ ሙቀት ውስጥም እንኳን የተረጋጉ ሆነው ስለሚቆዩ፣ እንደ ብረት ክንዶች አይወዛወዙም ወይም አይሰፉም። ይህ መረጋጋት እንደ ኤፒታክሲ ወይም ቅርፊት ባሉ አስቸጋሪ ሂደቶች ወቅት ዋፈሮች በተከታታይ ትክክለኛነት እንዲያዙ እና እንዲንቀሳቀሱ ያስችላቸዋል። SiC ለኬሚካሎችም በጣም የሚቋቋም ነው፣ ይህም አስፈላጊ ነው ምክንያቱም ዋፈሮች ብዙውን ጊዜ ምላሽ ሰጪ ጋዞች ወይም ፕላዝማ ባላቸው ክፍሎች ውስጥ ያልፋሉ። ቅንጣቶችን ሊበላሹ ወይም ሊለቁ ከሚችሉ ባህላዊ ብረቶች በተለየ፣ SiC እንቅስቃሴ አልባ ሆኖ ይቆያል እና ንጹህ አካባቢን ለመጠበቅ ይረዳል፣ ይህም የተራቀቁ ቺፖችን ሊያበላሹ የሚችሉ የብክለት አደጋዎችን ይቀንሳል። የቁሱ ቀላል ክብደት ሞተሮች እና አክቲቬተሮች የበለጠ በብቃት እንዲሰሩ ያስችላቸዋል፣ የምላሽ ጊዜዎችን ያሻሽላል እና ንዝረትን ይቀንሳል፣ ይህም በሺዎች በሚቆጠሩ የዋፈር እንቅስቃሴዎች ላይ ትክክለኛ አቀማመጥ ቀላል እና የበለጠ አስተማማኝ ያደርገዋል። እውነተኛው ዓለም ውጤቶች ይህንን ይደግፋሉ፡ በአንድ 200ሚሜ ፋብ ውስጥ፣ ከብረት ወደ SiC ክንዶች ሲቀየር የዋፈር መሰባበር በግማሽ ይቀነሳል እና ከቅንጣት ጋር የተያያዙ ጉድለቶችን በግልጽ ቀንሷል፣ ጥገናው ግን በተደጋጋሚ ከፍተኛ የሙቀት ዑደቶች ስር በቁሱ ዘላቂነት ምክንያት ያነሰ ተደጋጋሚ ሆኗል። ለትክክለኛ ንፅህና እና አስተማማኝነት ቅድሚያ ለሚሰጡ መሐንዲሶች እና የፋብ ኦፕሬተሮች፣ የሲሲ ሴራሚክ ክንዶች አፈጻጸምን እና ዘላቂነትን የሚያጣምር፣ ዋፈርዎችን ደህንነቱ የተጠበቀ እና ሂደቶችን ወጥነት ያለው የሚያደርግ መፍትሄ ይሰጣሉ፣ ተጨማሪ አደጋ ሳይጨምር።

ሲሲ ከባህላዊ ቁሳቁሶች ጋር ሲነጻጸር የቅንጣት ማመንጨትን እንዴት እንደሚያስወግድ

የንጥረ ነገሮች ብክለት በሴሚኮንዳክተር ፋብሎች ውስጥ ትልቅ ፈተና ነው ምክንያቱም ትናንሽ አቧራ፣ ብረት ወይም ፍርስራሾች እንኳን ከዋፈር ጋር ተጣብቀው ጉድለቶችን ሊያስከትሉ ይችላሉ፣ በተለይም የቺፕ ባህሪያት ወደ ናኖሜትር ሚዛን ሲቀንሱ። ከብረት ወይም ከፕላስቲክ የተሠሩ ባህላዊ የሮቦቲክ ክንዶች ችግሩን ሊያባብሱት ይችላሉ። የብረት ክንዶች በጊዜ ሂደት ሊለበሱ ይችላሉ፣ ይህም ጥቃቅን ፍሌክቶችን ይፈጥራል፣ ፕላስቲኮች ደግሞ በከፍተኛ ሙቀት ወይም ለሪአክቲቭ ጋዞች መጋለጥ ሊበላሹ ይችላሉ፣ ይህም ቅንጣቶችን ወደ ጽዳት ክፍሉ ይለቀቃሉ። ሲሲ ሴራሚክ ክንዶች ይህንን ችግር በተለየ መንገድ ይፈታሉ። የሲሊኮን ካርቦይድ እጅግ በጣም ጠንካራ እና በኬሚካል የተረጋጋ ስለሆነ በቀላሉ አይበላሽም እና ቅንጣቶችን በከፍተኛ ሙቀት፣ በፕላዝማ ወይም በጠንካራ ኬሚካሎች ስር አያስወግድም። ለስላሳ እና የማይንቀሳቀስ ገጽታው ዋፈሮች ብክለትን ሳያነሱ እንዲንሸራተቱ ያስችላቸዋል፣ ይህም ለተራቀቁ ሂደቶች ምርትን ለመጠበቅ እና ውድ የሆነ ዳግም ስራን ለማስቀረት ወሳኝ ነው። የSiC ክንዶች ማምረትም አስፈላጊ ነው። ትክክለኛ የስርጭት እና የማሽን ስራ ጥቅጥቅ ያለ፣ ወጥ የሆነ መዋቅር ያመነጫል፣ ይህም ክንዶቹ ለማጽዳት ቀላል እና አቧራ ለመያዝ ብዙም ተጋላጭ ያደርገዋል። ወደ SiC ክንዶች የሚቀይሩ ፋብሎች ብዙውን ጊዜ የቅንጣት ብዛት ይቀንሳል፣ የዋፈር ጉድለቶች ይቀንሳሉ እና የጽዳት ዑደቶች ያለአደጋ ይራዘማሉ። በከፍተኛ መጠን ምርት፣ ይህ ማለት ያነሱ መቆራረጦች፣ የእረፍት ጊዜ ያነሰ እና የበለጠ ወጥ የሆነ የዋፈር ጥራት ማለት ነው። ዋፈሮችን ንፁህ ለማድረግ ለሚያተኩሩ መሐንዲሶች፣ የSiC የሴራሚክ ክንዶች የማይታዩ የብክለት አደጋዎችን በመቀነስ ቁሳቁሶችን ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ ለማንቀሳቀስ አስተማማኝ መንገድ ይሰጣሉ።