ግትር ግራፋይት ተሰማ

ሴሚክስላብ ሪጊድ ግራፋይት ፌልት (RGF) ለሲሲ ነጠላ ክሪስታሎች የፊዚካል ትነት ትራንስፖርት (PVT) እድገት ወሳኝ የሆነ ከፍተኛ የሙቀት መከላከያ እና የሙቀት አስተዳደር አካል ሆኖ የተቀረፀ ነው። ይህ ጠንካራ ሸሚዝ ለቀጣዩ ትውልድ 4H- እና 6H-SiC ዋፈር ምርት ጥቅም ላይ እንዲውል የተነደፈ ሲሆን እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ ከፍተኛ የመዋቅር ታማኝነት እና ልዩ የኬሚካል ንፅህናን ያጣምራል፣ ይህም ከፍተኛ አፈጻጸም ባላቸው የሲሲ ንዑስ ማቀጣጠያ ምድጃዎች ውስጥ የማዕዘን ቁሳቁስ ያደርገዋል። አተገባበሩ የሙቀት ቅልመትን በትክክል መቆጣጠር፣ የተረጋጋ የእድገት ሁኔታዎችን እና በረጅም ጊዜ የምርት ዑደቶች ውስጥ የተሻሻለ የክሪስታል ጥራትን ያረጋግጣል።

በሲሲ PVT ሂደት ውስጥ፣ ወጥ የሆነ እና ወጥ የሆነ የሙቀት መስክ ማቆየት ጉድለት የሌለባቸውን ነጠላ ክሪስታሎች ለማግኘት ወሳኝ ነው። የግራፋይት ሪጊድ ፌልት እንደ ዋና የእቶን መከላከያ ሆኖ ያገለግላል፣ የሱቢሚሽን ክሩሲብል እና የሙቀት መስክ መዋቅሮችን ይከብባል። ዝቅተኛ የሙቀት አማቂነት የማይፈለግ የሙቀት ብክነትን ይቀንሳል፣ በሲሲ ምንጭ እና በዘር ክሪስታል መካከል ያለውን የታለመ የሙቀት መጠን ቅልመት ይጠብቃል። የራዲያል እና የአክሲያል የሙቀት መገለጫዎችን በመቆጣጠር፣ RGF የመሠረት ፕላን መበታተንን፣ የመደራረብ ጉድለቶችን እና ማይክሮፓይፖችን መፈጠርን ይቀንሳል፣ ይህም በቀጥታ የሚመጣውን የSiC ዋፈሮች መዋቅራዊ ትክክለኛነት እና ኤሌክትሮኒክ አፈፃፀም ላይ ተጽዕኖ ያሳድራል።

ከሙቀት መከላከያ አቅሙ ባሻገር፣ የሴሚክስላብ ግራፋይት ሸሚዝ ግትር መዋቅር ከ2000°ሴ በላይ በሆነ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባሉ አካባቢዎች ውስጥ ሜካኒካል መረጋጋት ይሰጣል። ከተለዋዋጭ ወይም ለስላሳ ሸሚዞች በተለየ፣ RGF ለረጅም ጊዜ በሚቆይ የሙቀት ዑደት ቅርፁን ይጠብቃል፣ ይህም የሙቀት መስኩን ሊያውክ ወይም የእቶን ዕድሜን ሊያበላሽ የሚችል ውድቀትን ወይም መበላሸትን ይከላከላል። የኬሚካል አለመቻቻል አነስተኛ የቅንጣት ልቀት ያረጋግጣል እና ለኃይል ኤሌክትሮኒክስ እና ለሰፊ ባንድ ክፍተት መሳሪያዎች አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ የመቋቋም ችሎታ ያላቸውን ንጣፎች ለማምረት ወሳኝ የሆነውን የSiC ቦውል ብክለትን ያስወግዳል።

ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የግራፊክ ካርቦን እና የላቀ የጥግነት ቴክኒኮችን በመጠቀም የተመረተው ሴሚክስላብ ግራፋይት ሪጊድ ፌልት ወጥ የሆነ ጥግግት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የልኬት መረጋጋት እና የረጅም ጊዜ ዘላቂነት ያሳያል። የሙቀት አፈጻጸም እና የሜካኒካል ጥንካሬ ጥምረት ሴሚኮንዳክተር ፋብሎች በPVT ስርዓቶች ውስጥ ወጥ የሆነ የእድገት መጠን፣ የሚባዙ የሙቀት መገለጫዎች እና የሚቀንሱ የስራ ማቆም ጊዜዎችን እንዲያገኙ ያስችላቸዋል። የእቶን የሙቀት ቅልጥፍናን በማመቻቸት፣ RGF ለኃይል ቁጠባ አስተዋጽኦ ያደርጋል፣ የዋፈር ወጥነት እና ምርትን ያሻሽላል።

የሴሚክስላብ ሪጊድ ግራፋይት ፌልት ከፍተኛ ጥራት ያለው የሲሲ ነጠላ ክሪስታል እድገትን ለመደገፍ የሚያስፈልገውን አፈጻጸም፣ ንፅህና እና መዋቅራዊ መረጋጋት ያቀርባል፣ ይህም አምራቾች ለቀጣዩ ትውልድ ዋፈር ለማምረት ጠንካራ የቁሳቁስ መፍትሄ፣ የተራዘመ የእቶን ዕድሜ እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባለባቸው አካባቢዎች የላቀ የሙቀት አስተዳደርን ያቀርባል።