ከፍተኛ ንፁህ ባለ ቀዳዳ ግራፋይት

ከፍተኛ ንፁህ ቀዳዳ ያለው ግራፋይት ለላቀ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ወሳኝ ቁሳቁስ ሲሆን፣ ልዩ የሆነ የሙቀት መረጋጋት፣ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብክለት መጠን እና የሂደቱ ወጥነት እጅግ በጣም አስፈላጊ ናቸው። የሴሚክስላብ ከፍተኛ ንፁህ ቀዳዳ ያለው ግራፋይት መፍትሄዎች በተለይ ለከፍተኛ ሙቀት እና ለብክለት ስሜታዊ ለሆኑ ሴሚኮንዳክተር ሂደቶች የተነደፉ ናቸው።

በኤፒታክሲ ሂደቶች ውስጥ፣ ከፍተኛ ንፅህና ያለው ቀዳዳ ያለው ግራፋይት እንደ ንጣፎች መያዣዎች፣ የዋፈር ተሸካሚዎች፣ የጋዝ ስርጭት መዋቅሮች እና የሙቀት መስክ አካላት ባሉ ቁልፍ ክፍሎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። በሲ፣ ሲሲ እና ጋኤን ኤፒታክሲያል እድገት ወቅት፣ ትክክለኛ የሙቀት ወጥነት እና የተረጋጋ የጋዝ ፍሰት ለፊልም ውፍረት ቁጥጥር፣ ለዶፒንግ ወጥነት እና ለጉድለት መገደብ ወሳኝ ምክንያቶች ናቸው። የሴሚክስላብ ግራፋይት ቀዳዳ ያለው ማይክሮ መዋቅር በዋፈር ወለል ላይ የበለጠ ወጥ የሆነ የሙቀት ስርጭት እና ቁጥጥር የሚደረግበት የጋዝ ስርጭት እንዲኖር ያስችላል፣ በዚህም የድንበር ንብርብር አለመረጋጋትን እና የጠርዝ ውጤቶችን ይቀንሳል።

ከ1000°ሴ በላይ ዘላቂ የሆነ አሠራር በሚያስፈልጋቸው የስርጭት እና የኦክሳይድ ሂደቶች ወቅት፣ ከፍተኛ ንፁህ ቀዳዳ ያለው ግራፋይት ለዋፈር ጀልባዎች፣ ሽፋኖች እና ለሙቀት መከላከያ ክፍሎች አስተማማኝ መዋቅራዊ እና የድጋፍ ቁሳቁስ ሆኖ ያገለግላል። ከጥልቅ ግራፋይት ጋር ሲነጻጸር፣ ቀዳዳ ያለው መዋቅሩ በተደጋጋሚ የሙቀት ዑደት ወቅት የሙቀት ውጥረትን እና መበላሸትን ይቀንሳል፣ የልኬት መረጋጋትን ያሻሽላል እና የክፍሉን ዕድሜ ያራዝማል። በውስጡ ያለው የኬሚካል ኢንተለጀንስ እና ዝቅተኛ የቆሻሻ ይዘት ንጹህ የሂደት አካባቢን ለመጠበቅ ይረዳል፣ የዶፓንት ስርጭት መገለጫዎችን እና የኦክሳይድ ፊልም ጥራትን በጥብቅ ይቆጣጠራል፣ የቅንጣት ማመንጨት እና የመስቀል ብክለት አደጋዎችን ይቀንሳል።

ለሲቪዲ፣ ኤልፒሲቪዲ እና ፒኢሲቪዲ ሂደቶች፣ ከፍተኛ ንፁህ ቀዳዳ ያለው ግራፋይት በማሞቂያዎች፣ በዋፈር ተሸካሚዎች እና ለሪአክቲቭ ጋዞች እና ለከፍተኛ ሙቀት በተጋለጡ የውስጥ ክፍል ክፍሎች ውስጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል። የቁሱ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት አማቂነት ፈጣን፣ ወጥ የሆነ የሙቀት ዝውውርን ያረጋግጣል፣ ቀዳዳ ያለው አወቃቀሩ ደግሞ በተራዘመ የመሳሪያ አሠራር ወቅት የተከማቸ ምርት ቁጥጥር የሚደረግበት ወጥመድ እንዲኖር፣ የመፍጨት እና የቅንጣት ልቀት እንዲቀንስ ያስችላል። ይህ በቀጥታ ለተሻሻለ የሂደት መረጋጋት፣ ለተራዘመ የጥገና ጊዜ እና ለመሳሪያዎች የስራ ጊዜ መጨመር አስተዋጽኦ ያደርጋል።

የሴሚክስላብ ከፍተኛ ንፁህ ቀዳዳ ያለው ግራፋይት የሚመረተው በጥንካሬ የጥራት ቁጥጥር ስርዓት ስር ሲሆን የጥሬ እቃ ምርጫ፣ ጽዳት እና ማይክሮስትራክቸር ምህንድስና በጥንቃቄ ቁጥጥር ስር ነው። ረጅም የአገልግሎት ዘመን ወይም በጣም ተፈላጊ በሆኑ የኬሚካል አካባቢዎች ውስጥ ስራ ሲያስፈልግ፣ ይህ ምርት እንደ SiC ወይም TaC ካሉ የላቁ የመከላከያ ሽፋኖች ጋር ተኳሃኝ ነው። ልዩ የዲዛይን ተለዋዋጭነትን፣ የማሽን አቅምን እና የላቀ የሴሚኮንዳክተር ሽፋን ቴክኖሎጂን በመጠቀም፣ መፍትሄዎቻችን ከሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎ መድረክ እና የሂደት ኖድ ልዩ መስፈርቶች ጋር በትክክል ሊጣጣሙ ይችላሉ። በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን ከልብ እንጓጓለን።