የሲቪዲ ሲሊኮን ካርቦይድ (ሲሲ) ሽፋን

የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን በመሠረቱ በግራፋይት ላይ የተቀመጠ የሲሊኮን ካርቦይድ ንብርብር ሲሆን የሙቀት መጠኑም ሆነ የንፅህናው አስፈላጊ በሆኑባቸው ኤፒታክሲ መሳሪያዎች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። በእውነተኛ የምርት መስመሮች ውስጥ፣ ብዙውን ጊዜ ከAIXTRON፣ ASM/LPE፣ Veeco እና ከAMAT ጋር በተያያዙ አንዳንድ መድረኮች ውስጥ ያዩታል። ጠቃሚ የሚያደርገው የሙቀት መቋቋም ብቻ ሳይሆን በረጅም ሩጫዎች ወቅት ያለው አጠቃላይ መረጋጋት ነው። በተለመደው ኤፒታክሲ ሁኔታዎች - ሃይድሮጂን፣ አሞኒያ ወይም ክሎሪን የተባሉ ጋዞች - ሽፋኑ በአንጻራዊ ሁኔታ የተረጋጋ ሆኖ ከስር ያለውን ግራፋይት ይጠብቃል። ይህም የሙቀት መስኩን የበለጠ ወጥነት እንዲኖረው ይረዳል እና በእድገት ወቅት ቅንጣቶች የመታየት እድልን ይቀንሳል።

አብዛኛውን ጊዜ ሽፋኑ እንደ ተንሳፋፊዎች፣ የዋፈር ተሸካሚዎች፣ የግራፋይት ቀለበቶች ወይም ግማሽ ጨረቃ ክፍሎች ባሉ ክፍሎች ላይ ይተገበራል። እነዚህ ሁሉ በቀጥታ በዋፈር ማሞቂያ ወይም አቀማመጥ ውስጥ የተሳተፉ ናቸው፣ ስለዚህ ማንኛውም ትንሽ አለመረጋጋት ምርትን ሊጎዳ ይችላል። በዚህ ምክንያት፣ የተሸፈኑ ክፍሎች ብዙውን ጊዜ በብዙ ዑደቶች ውስጥ አስተማማኝ መሆን የሚያስፈልጋቸው እንደ ፍጆታ ተደርገው ይወሰዳሉ፣ በተለይም ከ4 እስከ 12 ኢንች ምርት።