የኳርትዝ ጥላ ቀለበት 200ሚሜ

የኳርትዝ ጥላ ቀለበት 200ሚሜ (የክፍል ቁጥር 0200-10445) ለ200ሚሜ ዋፈር ማቀነባበሪያ መሳሪያዎች የተነደፈ ትክክለኛ ማሽን ያለው ሴሚኮንዳክተር አካል ነው። በፕላዝማ መቅረጽ እና በማስቀመጥ ሂደቶች ወቅት በዋፈር ጠርዝ ጥበቃ፣ በፕላዝማ ስርጭት ቁጥጥር እና በክፍል ብክለት ቅነሳ ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።

ይህ የጥላ ቀለበት ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ኳርትዝ የተሰራ ሲሆን ለፕላዝማ ዝገት፣ ለሙቀት መረጋጋት እና ለከፍተኛ ዝቅተኛ የብክለት ደረጃዎች በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ስላለው ለከፍተኛ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች ተስማሚ ያደርገዋል።

በሴሚክስላብ፣ ለሴሚኮንዳክተር ሂደት መሳሪያዎች የሚያስፈልጉትን ጥብቅ ልኬት መቻቻል እና የንፅህና መስፈርቶችን ለማሟላት የተነደፉ ከፍተኛ ትክክለኛነት ያላቸው የኳርትዝ ክፍሎችን እናቀርባለን።

የምርት አጠቃላይ እይታ

የ0200-10445 ኳርትዝ ጥላ ቀለበት በሂደት ክፍሉ ውስጥ ባለው የዋፈር ጠርዝ ዙሪያ ተጭኗል። የዋፈር ዙሪያውን ቁጥጥር የሚደረግበት ጥላ ለማቅረብ የተነደፈ ሲሆን ይህም በዋፈር ወለል ላይ ወጥ የሆነ የሂደት ሁኔታዎችን ለመጠበቅ ይረዳል።

ይህ አካል በኤች ቻምበርስ እና በፕላዝማ ማቀነባበሪያ ስርዓቶች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን፣ ከፍተኛ የዋፈር ምርት እና የሂደት ወጥነት ለማግኘት ትክክለኛ የጠርዝ ቁጥጥር አስፈላጊ ነው።

የተለመዱ የመዋቅር ባህሪያት

የ0200-10445 ኳርትዝ ጥላ ቀለበት ለሴሚኮንዳክተር ክፍል ውህደት በተለይ የተመቻቸ መዋቅራዊ ባህሪያትን በመጠቀም የተሰራ ነው።

ከዋፈር ጋር የሚዛመድ ውስጣዊ ዲያሜትር፡ ውስጣዊው ዲያሜትር ከ200 ሚሜ የዋፈር ጠርዝ ጋር እንዲዛመድ በትክክል የተነደፈ ሲሆን ትክክለኛ አቀማመጥ እና ወጥ የሆነ የጥላ ውጤቶች ያረጋግጣል።

በትክክለኛነት የተሰራ ጂኦሜትሪ፦ ክፍሉ ከአካባቢው የክፍል ክፍሎች ጋር በትክክል እንዲጣጣም እና የተረጋጋ የሂደት ሁኔታዎችን ለመጠበቅ በጥብቅ መቻቻል የተሰራ ነው።

የአሰላለፍ ኖቶች፡ ብዙ ዲዛይኖች በመሳሪያዎቹ ውስጥ ትክክለኛውን የመጫኛ አቀማመጥ ለማረጋገጥ የአሰላለፍ ኖቶችን ወይም የአቀማመጥ ባህሪያትን ያካትታሉ።

የተሻሻለ ውፍረት፡ የቀለበቱ ውፍረት በጥንቃቄ ቁጥጥር የሚደረግበት ሲሆን ይህም በሜካኒካል ጥንካሬ እና በፕላዝማ መከላከያ አፈፃፀም መካከል ትክክለኛውን ሚዛን ይሰጣል።

ለስላሳ ወለል ማጠናቀቅ; ከፍተኛ ጥራት ያለው የተወለወለ ወለል የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል እና ከጽዳት ክፍል አካባቢዎች ጋር ተኳሃኝነትን ያሻሽላል።

በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ሚና

የኳርትዝ ጥላ ቀለበት በፕላዝማ ክፍሎች ውስጥ የተረጋጋ የማቀነባበሪያ ሁኔታዎችን በመጠበቅ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።

1. የዋፈር ጠርዝ ሂደት ቁጥጥር

የፕላዝማ ቅርፊት ወይም ክምችት በሚፈጠርበት ጊዜ፣ የዋፈር ጠርዝ ክልል ወጥ ያልሆነ የፕላዝማ መጋለጥ ሊያጋጥመው ይችላል። የጥላ ቀለበት የዋፈር ዙሪያውን ቁጥጥር የሚደረግበት መከላከያ ይሰጣል፣ ይህም ከመጠን በላይ ቅርፊት እንዳይፈጠር ወይም በጠርዙ ላይ እንዳይከማች ይከላከላል።

ይህ የሚከተሉትን ለማሻሻል ይረዳል፦

● የዋፈር ጠርዝ ወጥነት

● የሂደት ተደጋጋሚነት

● የመሣሪያ ውጤት

2. የክፍል ክፍሎችን መጠበቅ

የጥላ ቀለበት የሚከተሉትን ቁልፍ የክፍል ክፍሎችን ይከላከላል፡

● ኤሌክትሮስታቲክ ቻክ (ESC)

● ፔድስታል ወይም ማሞቂያ

● በዙሪያው ያሉ የክፍል ገጽታዎች

ቀጥተኛ የፕላዝማ መጋለጥን እና ክምችትን በማገድ፣ መበስበስን ይቀንሳል እና የእነዚህን ወሳኝ ክፍሎች ዕድሜ ያራዝማል።

3. የፕላዝማ ስርጭት መረጋጋት

የቀለበት ጂኦሜትሪ በዋፈር ጠርዝ አቅራቢያ ያለውን የፕላዝማ ሽፋን ለመቆጣጠር ይረዳል፣ ይህም የበለጠ ወጥ የሆነ የፕላዝማ ጥግግት እንዲኖር እና በዋፈር ላይ የተሻሻለ የሂደት ቁጥጥር እንዲኖር አስተዋጽኦ ያደርጋል።

4. የቅንጣት ቅነሳ

የጥላ ቀለበት የተከማቹ ቦታዎችን በመቆጣጠር እና ስሜታዊ የሆኑ ቦታዎችን በመከላከል በክፍሉ ውስጥ ያለውን የቅንጣት መፈጠር ለመቀነስ ይረዳል፣ ይህም ከፍተኛ ምርት ላለው ሴሚኮንዳክተር ማምረት አስፈላጊ ነው።

ቁሳቁስ እና ቁልፍ ጥቅሞች

የጥላ ቀለበት የሚመረተው ከፍተኛ ንፁህ በሆነ የተዋሃደ ኳርትዝ (SiO₂) በመጠቀም ሲሆን ይህም በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በሰፊው ጥቅም ላይ የሚውል ቁሳቁስ ሲሆን ይህም በኬሚካላዊ እና በሙቀት ባህሪያት ምክንያት ነው።

ከፍተኛ የፕላዝማ መቋቋም;

ኳርትዝ በሴሚኮንዳክተር ኤቺንግ ሂደቶች ውስጥ በተለምዶ ጥቅም ላይ የሚውሉትን ፍሎራይን-ተኮር እና ክሎሪን-ተኮር የፕላዝማ አካባቢዎችን በጣም ጥሩ የመቋቋም ችሎታ ያሳያል። ይህም ረጅም የአገልግሎት ዘመን እና የተረጋጋ አፈፃፀምን ያረጋግጣል።

እጅግ በጣም ዝቅተኛ ብክለት፦

ከፍተኛ ንፁህ ኳርትዝ እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብረት ቆሻሻዎችን ይይዛል፣ ይህም በሂደቱ ክፍል ውስጥ የብክለት አደጋዎችን ለመቀነስ እና የዋፈር ጥራትን ለመጠበቅ ይረዳል።

የላቀ የሙቀት መረጋጋት;

የኳርትዝ ቁሳቁሶች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም እና ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣሉ፣ ይህም የጥላ ቀለበት በፕላዝማ ክፍሎች ውስጥ በተደጋጋሚ የማሞቂያ እና የማቀዝቀዣ ዑደቶች ስር በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲሠራ ያስችለዋል።

እጅግ በጣም ጥሩ ኬሚካላዊ ጥንካሬ;

ኳርትዝ በከባድ ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ አካባቢዎች ውስጥ በኬሚካል የተረጋጋ ሆኖ ይቆያል፣ ይህም መበስበስን እና የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳል።

ትክክለኛነት የማሽን ችሎታ;

በተራቀቁ የማሽን እና የማጥራት ሂደቶች፣ ኳርትዝ ጥብቅ ልኬት መቻቻል እና ለስላሳ የወለል ማጠናቀቂያዎችን ማግኘት ይችላል፣ ይህም ለተረጋጋ የዋፈር ማቀነባበሪያ ሁኔታዎች አስፈላጊ ነው።