ሴሚኮንዳክተር ኳርትዝ ቀለበት

በሴሚክስላብ፣ ለቀጣይ ትውልድ ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ አካባቢዎች የተነደፉ ከፍተኛ ንፁህ የኳርትዝ ክፍሎችን በማዘጋጀት እና በማምረት ላይ እንሰራለን። ከእነዚህም መካከል፣ የሴሚክስላብ ከፍተኛ ንፁህ የኳርትዝ ቀለበት በበርካታ የፊት-መጨረሻ የዋፈር ማምረቻ ደረጃዎች ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታል፣ የልኬት ትክክለኛነት፣ የኬሚካል ንፅህና እና የሙቀት መረጋጋት በቀጥታ የሂደቱን አፈጻጸም እና የመሳሪያውን ምርት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ።

በኬሚካል ትነት ማስቀመጫ (CVD) ስርዓቶች - LPCVD፣ PECVD እና ከፍተኛ ሙቀት SiC ወይም Si ኤፒታክሲ ሪአክተሮችን ጨምሮ - የኳርትዝ ቀለበት በሱሴፕተር እና በምላሽ ክፍሉ መካከል እንደ መዋቅራዊ እና ተግባራዊ በይነገጽ ሆኖ ያገለግላል። ዋናው ሚናው ምላሽ ሰጪ የጋዝ ፍሰቶችን መለየት፣ በክፍል ግድግዳዎች ላይ ጥገኛ ክምችትን መቀነስ እና በዋፈር ዙሪያ ያለውን የሙቀት መገለጫ ማረጋጋት ነው። የሴሚክስላብ ትክክለኛነት የተወለወለ ኳርትዝ ልዩ የሙቀት ወጥነት በዋፈር ላይ ወጥ የሆነ የፊልም ውፍረት እና የላቀ የገጽታ ጥራት ያረጋግጣል። የቁሱ የኦፕቲካል ግልጽነት እና የኢንፍራሬድ አንጸባራቂነት የማሞቂያ ቅልጥፍናን ለማሻሻል እና በማጠራቀሚያ ዞን ውስጥ የሙቀት ቅልጥፍናን ለመቀነስ ሊበጁ ይችላሉ።

በፕላዝማ ኢቺንግ (ደረቅ ኤች) ሂደቶች ውስጥ፣ የኳርትዝ ቀለበት ከፕላዝማ መሸርሸር እና ከአዮን ቦምብ ድብደባ ለመከላከል እንደ መከላከያ መከላከያ ሆኖ ያገለግላል፣ የክፍሉን የብረት ገጽታዎች ከብክለት እና ከቅንጣት ማመንጨት ይጠብቃል። በጥብቅ ቁጥጥር በሚደረግባቸው የንጽህና ዝርዝሮች (<1 ppm የብረታ ብረት ብክለት) ስር የተመረተው ከፍተኛ ጥግግት ያለው ሰው ሰራሽ ኳርትዝ፣ ለረጅም ጊዜ ኃይለኛ ፍሎሪን እና ክሎሪን ላይ የተመሰረቱ ፕላዝማዎች ቢጋለጡም እንኳ የልኬት ታማኝነትን ይጠብቃል። ይህ የክፍሉን ክፍል ዕድሜ በከፍተኛ ሁኔታ ያራዝማል እና የተረጋጋ የፕላዝማ ስርጭትን ለመጠበቅ ይረዳል፣ ይህም ለኤች ወጥነት እና ለሲዲ (ወሳኝ ልኬት) ቁጥጥር ወሳኝ መለኪያ ነው።

በኦክሳይድ እና ስርጭት ምድጃዎች ውስጥ፣ የሴሚክስላብ ኳርትዝ ቀለበቶች እንደ ትክክለኛነት አሰላለፍ እና የዋፈር ጀልባዎችን ​​የሚደግፉ እና የሂደቱን የጋዝ ፍሰት መንገድ የሚወስኑ እንደ መከላከያ አካላት ሆነው ያገለግላሉ። እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ቅንጅታቸው ከ1000 °C በላይ በሆነ የሙቀት መጠን በተደጋጋሚ የሙቀት ዑደት ወቅት ጭንቀትን ይቀንሳል። ውጤቱም የተሻሻለ የሂደት ተደጋጋሚነት፣ ጉድለትን መቀነስ እና በከፍተኛ የሙቀት መጠን ኦክሳይድ ወይም በዶፓንት ስርጭት ደረጃዎች ውስጥ የንጥረ ነገር ብክለት አደጋን መቀነስ ነው።

ለኤፒታክሲያል የእድገት ሂደቶች፣ በተለይም በሲሲ ኤፒታክሲ ውስጥ፣ የኳርትዝ ቀለበት የሙቀት መጠን ወጥነት እና የኬሚካል ማግለል አስተዋጽኦ ያደርጋል። በግራፋይት ወይም በሲሲ የተሸፈነ ሱሴፕተር ዙሪያ የተቀመጠው፣ እንደ አንጸባራቂ እና የእግድ አካል ሆኖ ያገለግላል፣ የጋዝ ወሰን ንብርብርን በመቅረጽ እና በዋፈር ወለል ላይ ያለውን የዶፓንት እና የውፍረት ወጥነት ያሻሽላል። ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የኬሚካል ኢንተለጀንስ እና የኦፕቲካል መረጋጋት ጥምረት የሴሚክስላብ ኳርትዝ ቀለበቶች በሃይድሮጂን የበለፀገ ከባቢ አየር ውስጥ ወደ 1600 ° ሴ በሚጠጋ የሙቀት መጠን እንኳን አፈፃፀማቸውን እንዲጠብቁ ያስችላቸዋል።

ለብዙ አሥርተ ዓመታት በቁሳዊ ሳይንስ እውቀት እና በትክክለኛነት ማምረቻ፣ የሴሚክስላብ ከፍተኛ ንፅህና ኳርትዝ ቀለበቶች ለዓለም አቀፍ የሴሚኮንዳክተር አምራቾች እና መሳሪያዎች የኦሪጂናል ዕቃ አምራቾች የታመነ ምርጫ ሆነዋል። እያንዳንዱ ክፍል በSEMI ደረጃዎች የተነደፈ፣ በICP-MS ኤለመንታል ትንተና የተረጋገጠ እና በ ISO በተረጋገጡ ንጹህ የማምረቻ አካባቢዎች የተቀረፀ ነው። እነዚህ ባህሪያት የሴሚክስላብ ኳርትዝ ቀለበቶች ወጥ የሆነ አፈጻጸም እንዲያቀርቡ፣ የስራ ማቆም ጊዜን እንዲቀንሱ እና ደንበኞች በተራቀቀ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ የበለጠ ጥብቅ የሂደት ቁጥጥር እና ከፍተኛ የመሳሪያ ምርት እንዲያገኙ ያግዛሉ።