ከፍተኛ ንፁህ ለስላሳ ፌልት

በሙቀት መስኮች ውስጥ ንፅህና ለምን አስፈላጊ ነው? ሶስተኛ ትውልድ ሲፈጠር?

ሴሚኮንዳክተሮች (SiC/GaN)፣ ከፍተኛ የአመድ ይዘት ያላቸው ባህላዊ የኢንሱሌሽን ፌልቶች (ከ500ppm በላይ) ከ1600°ሴ በላይ በሆነ የሙቀት መጠን የብረት ቆሻሻዎችን ይለቃሉ። ይህ የጥልፍልፍ ጉድለቶችን ያስከትላል እና የዋፈር ምርትን ይቀንሳል።

የሴሚክስላብ ለስላሳ ጨርቅ ልዩ የሆነውን ከፍተኛ ሙቀት ባለው የኬሚካል ማጣሪያ ሂደታችንን ያልፋል፣ ይህም አጠቃላይ የቆሻሻ መጠኑን ከ 5ppm በታች ያደርገዋል። ይህ ንፁህ የእድገት አካባቢን ከማረጋገጥ ባለፈ ለረጅም ጊዜ የሚቆይ የክሪስታል እድገት የሚያስፈልገውን ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት ይሰጣል።

ሴሚክስላብ ጠርዝ

እኛ አቅራቢ ብቻ ነን — ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያለው የዞን አጋርዎ ነን። በCAS ተመራማሪዎች የተመሰረተው የኢንሱሌሽን መፍትሄዎችን ከCVD ሽፋኖች (TaC/SiC) ጋር በማጣመር የላቀ ነው። የኢንሱሌሽን ስሜትን ብቻ አይደለም የምናቀርበው፤ ሙሉ የሙቀት መስክዎን በግራፊት ማሞቂያዎች እና ባለ ቀዳዳ ታሲ በመጠቀም የኃይል ፍጆታን ለመቀነስ እናሻሽላለን። የእኛ የቤት ውስጥ ባለ 5-ዘንግ CNC ማሽነሪ ከምንም ስህተቶች ጋር በትክክል የሚዛመዱ ብጁ፣ አስቀድሞ የተገጣጠሙ ኪቶችን ከእቶን ዲዛይንዎ ጋር እንዲጣጣሙ ያስችላቸዋል።

ወሳኝ መተግበሪያዎች

በመስክ የተረጋገጠ አፈጻጸም፡

ለሲሲ እና ሲሊከን እድገት (PVT/CZ) የተነደፈው የእኛ ስሜት ክሪስታል መቆራረጥን ለመግታት እንደ የሙቀት ማረጋጊያ ሆኖ ያገለግላል። በMOCVD/Epitaxy (ከAixtron፣ NuFlare ጋር ተኳሃኝ) ውስጥ፣ በዝገት H2/NH3 ፍሰቶች ስር የማይንቀሳቀስ ሆኖ ይቆያል፣ ይህም የንጽህና ስርጭትን ይከላከላል። ለፋይበር ስዕል እና ለሳፋየር ሲንተሪንግ፣ ዜሮ-አውት ጋዝ ንብረቱ የቫክዩም ትክክለኛነትን ያረጋግጣል እና የምርት መጥፋትን ይከላከላል።

ዋና ጥቅሞች

እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (<5ppm)፣ በGDMS የተፈተነ። በኤፒታክሲያል እድገት ውስጥ መሻገርን ለማስወገድ Al፣ B፣ Fe እና ሌሎች ቁልፍ ቆሻሻዎችን በጥብቅ ይቆጣጠራል።

በጣም ጥሩ የሙቀት መከላከያ; በ1000°ሴ እስከ 0.12 W/m·K ዝቅተኛ የሙቀት አማቂ ኃይል፣ የሙቀት ብክነትን በመቀነስ እና በ±1°ሴ ውስጥ የሙቀት ቅልመትን በመቆጣጠር።

ዝቅተኛ የቅንጣት መፍሰስ; የተሻሻለ የፋይበር እና የገጽታ ህክምና በቫክዩም ዑደቶች ውስጥ አቧራን ይቀንሳል፣ የCVD (TaC/SiC) ግራፋይት ተከላካይዎችን እና ማሞቂያዎችን ይከላከላል።

ከፍተኛ ተለዋዋጭነት እና ተስማሚነት; ለስላሳ እና ውስብስብ በሆኑ ምድጃዎች ላይ ለ360° እንከን የለሽ መጠቅለያዎች የሚውል፣ ከጠንካራ መከላከያ የሚመጣ የሙቀት መፍሰስን ይከላከላል።

የተመቻቸ ተደጋጋሚ ጥያቄዎች

ጥ፡ ሴሚክስላብ ሶፍት ፌል የግራፋይት ማሞቂያዎችን የአገልግሎት ዘመን እንዴት ያሻሽላል?

መ፡ የበለጠ የተረጋጋ የሙቀት መከላከያ በማቅረብ፣ ለስላሳ መሸፈኛችን ማሞቂያው ኢላማውን የሙቀት መጠን ለመጠበቅ የሚያስፈልገውን የኃይል ጭነት ይቀንሳል፣ በዚህም የግራፋይት ማሞቂያ አካላትን የካርቦን ንዑስ-ንዑስ-ምልከት ​​እና ኦክሳይድ ይቀንሳል።

ጥ: - ጨርቁ በከፍተኛ ፍሰት ጋዝ አካባቢዎች ጥቅም ላይ ሊውል ይችላል?

መልስ፡ አዎ። ለከፍተኛ ጋዝ-ፍጥነት ሂደቶች (እንደ MOCVD)፣ ከፍተኛ ጥግግት ያለው PAN-based felt ወይም የግራፋይት ፎይል ያለው ድብልቅ መፍትሄ እንመክራለን፣ ይህም የፋይበር መሸርሸርን ይከላከላል እና ምንም አይነት የንጥረ ነገር ብክለትን ያረጋግጣል።