የ PECVD በፀሐይ ሴሎች ውስጥ ያለው ሚና

PECVD (ፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት) በፎቶቮልታይክ ሴል ማምረቻ ውስጥ ካሉት ዋና ዋና ሂደቶች አንዱ ነው። በዋናነት በሲሊኮን ዋፈርስ ወለል ላይ ቁልፍ ተግባራዊ ፊልሞችን (እንደ ሲሊኮን ናይትራይድ-ሲኤንክስ ያሉ) ለማስቀመጥ የሚያገለግል ሲሆን ፀረ-ነጸብራቅ እና የገጽታ ፓስሲቭሽን ተግባራትን ለማሳካት ያገለግላል። የPECVD ትሪ በዚህ ሂደት ውስጥ ቁልፍ ሚና ይጫወታል፣ የፊልም ክምችት ወጥነት፣ የሲሊኮን ዋፈርስ ጥሩ መረጋጋት እና የመሳሪያዎቹን ቀልጣፋ አሠራር ያረጋግጣል። በፕላዝማ በኩል የኬሚካል ግብረመልሶችን በማግበር በዝቅተኛ የሙቀት መጠን (300-400°ሴ) ጥቅጥቅ ያሉ ፊልሞችን በብቃት ማመንጨት ይችላል፣ ይህም የባትሪውን የፎቶኤሌክትሪክ ልወጣ ውጤታማነት በእጅጉ ያሻሽላል።

በፎቶቮልታይክ ሴሎች ውስጥ የ PECVD የስራ ፍሰት ምንድነው?

1. የሲሊኮን ዋፈር ቅድመ-ህክምና

ከተሰራጨው ሂደት በኋላ የሲሊኮን ዋፈር የፒኤን መጋጠሚያ ይፈጥራል፣ እና የጠርዙን የዶፒንግ ንብርብር ለማስወገድ ከተቀረጸ በኋላ ወደ PECVD ደረጃ ይገባል። የገጽታ ብክለቶች (እንደ ኦርጋኒክ ቅሪቶች እና የብረት አየኖች ያሉ) የፊልም ማጣበቂያን ለማረጋገጥ በደንብ ማጽዳት አለባቸው።

2.የመጫን እና የቫኩም አካባቢ ማቋቋም

የሲሊኮን ዋፈሮች በ PECVD ጀልባ ላይ በእኩል መጠን ይቀመጣሉ እና በሮቦቲክ ክንድ ወደ ምላሽ ክፍሉ ይላካሉ። ክፍሉ ከኦክስጅን እና እርጥበት ጣልቃ ገብነትን ለማስወገድ ወደ 10⁻²–10⁻³ ቶርር ይወሰዳል።

3. የፕላዝማ ማግበር እና ቀጭን ፊልም ማስቀመጥ

የጋዝ መግቢያ፡ ሲላን (SiH₄) እና አሞኒያ (NH₃) በተመጣጣኝ መጠን ተቀላቅለው ወደ ምላሽ ክፍሉ ውስጥ ይገባሉ።

የRF የኃይል ምንጭ ፕላዝማውን ያነቃቃል፡- ከፍተኛ ድግግሞሽ ያለው የኤሌክትሪክ መስክ (እንደ 13.56 ሜኸዝ ያሉ) እንደ SiH₃⁻ እና NH₂⁺ ያሉ ከፍተኛ ንቁ የሆኑ ነፃ ራዲካሎችን ለማመንጨት ጋዙን ionize ያደርጋል።

የገጽታ ምላሽ፡- ፍሪ ራዲካልስ በሲሊኮን ዋፈር ወለል ላይ ምላሽ በመስጠት አሞርፎስ ሲሊከን ናይትሬድ (a-SiNx:H) ያመነጫሉ፣ እና ውፍረቱ የብርሃን መምጠጥን ለማመቻቸት በ70–80 nm ቁጥጥር ይደረግበታል (የሚያንፀባርቅ መረጃ ጠቋሚ ~2.0)።

4. የማጥወልወል እና የመተጣጠፍ ውጤት ማሻሻያ

ከተከማቸ በኋላ፣ የኢንፍራሬድ ማኒሊንግ (300-450°ሴ) የፊልም ውጥረትን ለመልቀቅ ጥቅም ላይ ይውላል፣ እና የሃይድሮጂን አቶሞች በሲሊኮን ወለል ላይ ባሉት ጉድለቶች ላይ በመሰራጨት የኬሚካል ፓስሲቭሽን (የገጽታ ዳግም ውህደት መጠንን ይቀንሳል) ያገኛሉ።

5. ማቀዝቀዝ እና ማስወገድ

የPECVD ጀልባው ከማጓጓዣ ስርዓቱ ጋር ከክፍሉ ይወጣል፣ እና የሲሊኮን ዋፈር ወደ ክፍሉ የሙቀት መጠን ከቀዘቀዘ በኋላ ወደሚቀጥለው ደረጃ (እንደ ስክሪን ህትመት) ይገባል።

የ PECVD ጀልባ ተግባራዊ አጠቃቀሞች ምንድናቸው?

የPECVD ጀልባዎች (ወይም የPECVD ግራፋይት ጀልባዎች) በዋናነት በፎቶቮልታይክ መስክ ውስጥ የፀሐይ ሴል ንጣፎችን ወደ PECVD ምላሽ ክፍል ለማጓጓዝ ያገለግላሉ። እነዚህ ጀልባዎች ብዙውን ጊዜ እንደ ግራፋይት ወይም ኳርትዝ ካሉ ከፍተኛ ሙቀት መቋቋም ከሚችሉ ቁሳቁሶች የተሠሩ ናቸው፣ እና በPECVD ሂደት ውስጥ ከፍተኛ የሙቀት መጠንን መቋቋም ይችላሉ። የPECVD ጀልባ በቀጥታ የማስቀመጫውን ወጥነት እና የመበታተን መጠን ይነካል።

· ንጣፎችን መሸከም፡ የ PECVD ጀልባ ዋና ተግባር የፀሐይ ሴል ንጣፍ በ PECVD ምላሽ ክፍል ውስጥ ለቀጭን ፊልም ክምችት ማስቀመጥ ነው።

· ወጥ የሆነ ማሞቂያ፡- ሙቀትን በእኩል በማሰራጨት፣ ንጣፉ በሂደቱ ውስጥ ወጥ የሆነ የሙቀት መጠን እንዲቆይ በማድረግ የፊልሙን ጥራት እና ወጥነት ያሻሽላል።

· የዝገት መቋቋም፡- የPECVD ሂደት የተለያዩ የኬሚካል ጋዞችን ስለሚያካትት፣ የPECVD ጀልባ ለረጅም ጊዜ ጥቅም ላይ ሲውል ታማኝነቱን ለማረጋገጥ ጥሩ የዝገት መቋቋም ሊኖረው ይገባል።

የPECVD ጀልባ ዲዛይን ነጥቦች ምንድናቸው?

የእሱ ዲዛይን የሚከተሉትን መስፈርቶች ማሟላት አለበት:

ቁሳቁስ ለከፍተኛ የሙቀት መጠን እና ለዝገት መቋቋም የሚችል ነው;

ኳርትዝ ወይም ሲሊኮን ካርቦይድ የተሸፈነ ግራፋይት ብዙውን ጊዜ የፕላዝማ መሸርሸርን እና ከፍተኛ የሙቀት መጠንን ለመቋቋም ያገለግላል (የግራፋይት ጀልባዎች የቅንጣት ብክለትን ለማስወገድ በየጊዜው መተካት አለባቸው)።

መዋቅራዊ ማመቻቸት፡-

የተዘነበለ የስሎት ዲዛይን፡ በሲሊኮን ዋፈር (5-10 ሚሜ) መካከል ተመሳሳይ የሆነ ክፍተት መኖሩን ያረጋግጡ እና በፊልሙ ውፍረት ላይ መዋዠቅን ያስወግዱ (የዒላማው ተመሳሳይነት <5%)።

የጠርዝ መመሪያ ጎድጓድ፡- የሪአክቲቭ ፍሰት ስርጭትን ያመቻቹ እና በጠርዝ ውጤት ምክንያት የሚመጣውን የፊልም ውፍረት ልዩነት ይቀንሱ።

ለትልቅ ምርት ማስተካከያ፡

ከትልቅ መጠን ካላቸው የሲሊኮን ዋፈር (እንደ M10/G12 ያሉ) ጋር ተኳሃኝ፣ የአንድ ጀልባ አቅም ከ200-300 ቁርጥራጮች ሊደርስ ይችላል፣ እና የማምረት አቅሙ ይሻሻላል (ለምሳሌ አንድ መሳሪያ በሰዓት 4000 ቁርጥራጮችን ማቀነባበር ይችላል)።

የተቀናጀ አውቶማቲክ ማስተላለፊያ በይነገጽ፣ ከ AGV/ሮቦቲክ ክንድ ጋር በመተባበር የሰው ኃይል የሌለውን አሠራር እውን ማድረግ።

ወጪ እና ጥገና;

የግራፋይት ጀልባ ዕድሜ ከ6-8 ወራት አካባቢ ሲሆን የደለል ቅሪቶችን ለማስወገድ (እንደ HF መፍትሄ) በየጊዜው መጭመቅ አለበት።

የኳርትዝ ጀልባዎች ውድ ናቸው ነገር ግን ዝቅተኛ የብክለት አደጋ አላቸው፣ እና ለ TOPCon/HJT ቴክኖሎጂ ሰፋፊ የጅምላ ምርት ተስማሚ ናቸው።

ለኳርትዝ የሚሆን ንጥረ ነገር

ሴሚክስላብን ለምን ይመርጣሉ?

ሴሚክስላብ በቻይና ግንባር ቀደም የPECVD ጀልባ አምራች እና አቅራቢ ነው። የPECVD ጀልባ ምርቶቻችን የPECVD ግራፋይት ጀልባዎችን፣ የPECVD ኳርትዝ ጀልባዎችን፣ ወዘተ ያካትታሉ።

እንደ ትክክለኛ የምርት ፍላጎቶችዎ ብጁ ምርቶችን እና የቴክኒክ አገልግሎቶችን ማቅረብ እንችላለን። እንዲያውም፣ የፎቶቮልታይክ ኢንዱስትሪው ቀጣይነት ባለው እድገት፣ የPECVD ቴክኖሎጂ እና መሳሪያዎች ቀጣይነት ያለው ማመቻቸት የፎቶቮልታይክ ሴል አፈጻጸምን እና የምርት መጠንን የበለጠ ለማሳደግ ይረዳል። ሴሚክስላብ ለፎቶቮልታይክ ሴል ኢንዱስትሪ የበለጠ አስተዋጽኦ ለማድረግ ከእርስዎ ጋር ለመስራት ፈቃደኛ ነው።