ታሲ የተሸፈነ ግራፋይት ሱስሴፕተር ለ LED ኤፒታክሲያል እድገት

በሴሚክስላብ የተገነባው TaC (ታንታለም ካርባይድ) የተሸፈነ ግራፋይት ሱሴፕተር በተለይ እንደ GaN እና AlGaN MOCVD ላሉ ከፍተኛ ሙቀት ላላቸው የኤልኢዲ ኤፒታክሲያል የእድገት ሂደቶች የተነደፈ ነው። ከፍተኛ ንፅህና ያለው የግራፋይት ንጣፍን ከጥብቅ CVD-deposited TaC ሽፋን ጋር በማጣመር፣ ይህ ሱሴፕተር ልዩ የሆነ የሙቀት ወጥነት፣ የኬሚካል መረጋጋት እና የብክለት ቁጥጥርን ያረጋግጣል - ይህም የላቀ የክሪስታል ጥራት እና ወጥ የሆነ የኤልኢዲ አፈፃፀም ለማምጣት ወሳኝ ነው።

የቁሳቁስ ቅንብር እና ቁልፍ ባህሪያት

የመሠረት እሴት: ከፍተኛ ንፅህና ያለው ኢሶስታቲክ ግራፋይት፣ እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ ዝቅተኛ ጥግግት እና ትክክለኛ የማሽን አቅም።

የሽፋን ንብርብር: ታሲ (ታንታለም ካርቦይድ) በሲቪዲ ፕሮሰስ፣ እጅግ በጣም ጥቅጥቅ ያለ ወለል፣ ከፍተኛ ጥንካሬ እና በNH₃/H₂ ከባቢ አየር ውስጥ የኬሚካል ኢንተለጀንስ።

በ LED Epitaxial እድገት ውስጥ የተለመዱ አፕሊኬሽኖች

በ LED ኤፒታክሲያል የእድገት ሂደት ውስጥ፣ በተለይም ለ GaN-based compound semiconductors፣ TaC Coated Graphite Suscepter በMOCVD የማሞቂያ ስርዓት እና በሚበቅሉት ዋፈርዎች መካከል ወሳኝ የሙቀት እና የኬሚካል በይነገጽ ሆኖ ያገለግላል። ልዩ የሆነው የቁሳቁስ አወቃቀሩ እና መዋቅራዊ ታማኝነቱ በ LED ኤፒታክሲ ዑደት ውስጥ በርካታ አስፈላጊ ሚናዎችን እንዲያከናውን ያስችለዋል - ከኑክሌሽን እስከ ሙሉ የንብርብር እድገት።

1. የተረጋጋ የዋፈር ማሞቂያ እና የሙቀት መጠን ወጥነት

በ MOCVD ኤፒታክሲ ወቅት፣ የሱስ ሰጪው እንደ ዋናው የሙቀት ማስተላለፊያ አካል ሆኖ ያገለግላል፣ የዋፈር ወለል ወጥ የሆነ እና በትክክል ቁጥጥር የሚደረግበት የሙቀት መጠን (በተለምዶ ለ GaN እድገት ከ1000-1200°ሴ) እንዲቆይ ያረጋግጣል።

● የግራፋይት ንጣፍ ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ ፈጣን እና ተመሳሳይ የሆነ የሙቀት ስርጭት እንዲኖር ያስችላል።

● የTaC ሽፋን፣ የተረጋጋ ልቀት እና እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት ያለው፣ ይህ ሙቀት ለሁሉም ዋፈርዎች በእኩል እንዲሰራጭ ያረጋግጣል፣ ይህም የንብርብር ውፍረት አለመመጣጠን፣ በጭንቀት ምክንያት የሚመጣ ዋፈር መጎተት ወይም ጉድለት እንዲፈጠር የሚያደርጉ የሙቀት ቅልጥፍናዎችን ይቀንሳል።

● ባለብዙ-ዋፈር ሪአክተሮች ውስጥ፣ ይህ ወጥነት በሁሉም ዋፈርዎች ላይ ወጥ የሆነ የGaN እና የአልGaN ፊልም ውፍረት እና ቅንብር ለማግኘት ወሳኝ ነው።

2. የካርቦን ብክለትን መከላከል

በ LED ኤፒታክሲያል እድገት ውስጥ ካሉት ዋና ዋና ስጋቶች አንዱ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ ከባዶ ግራፋይት ክፍሎች የሚመነጨው የካርቦን ብክለት በሃይድሮጂን እና በአሞኒያ የጋዝ ከባቢ አየር ውስጥ ነው።

● የሲቪዲ ታሲ ሽፋን እንደ ጥቅጥቅ ያለ የስርጭት መከላከያ ሆኖ ያገለግላል፣ የግራፋይት ንጣፍን ከሂደቱ ከባቢ አየር ሙሉ በሙሉ ይለያል።

● ይህ የካርቦን ሰርቢሊመንት ወይም የጋዝ መጨፍለቅን ይከላከላል፣ ይህም በGaN ላቲስ ውስጥ ያልተፈለገ የካርቦን ውህደት ሊያስከትል ይችላል - ይህም የብርሃነ-አፍቃሪ ቅልጥፍናን፣ ተሸካሚ ተንቀሳቃሽነትን እና የ LED መሳሪያውን አስተማማኝነት ያዳክማል።

● የ TaC ሽፋን ያለው ተከላካይ ንፁህ የእድገት አካባቢን በመጠበቅ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የኤፒታክሲያል ንብርብሮችን በጥሩ ክሪስታል ጥራት እና ዝቅተኛ የጉድለት ጥግግት እንዲኖር ያስችላል።

3. የተሻሻለ የሂደት መረጋጋት እና ተደጋጋሚነት

የ LED ኤፒታክሲያል ምርት በበርካታ ሩጫዎች ላይ ትክክለኛ የሂደት ተደጋጋሚነት ይጠይቃል።

● በTaC የተሸፈነው ወለል ወጥ የሆነ ልቀት እና አንጸባራቂነት ይይዛል፣ እነዚህም ለMOCVD ፒሮሜትሪክ የሙቀት መቆጣጠሪያ ወሳኝ መለኪያዎች ናቸው።

● ይህ ወደ አስተማማኝ የሙቀት ንባቦች፣ የልኬት መቀዛቀዝ መቀነስ እና የተሻሻለ የባች-ወደ-ባች ሂደት መረጋጋትን ያስከትላል።

● በዚህም ምክንያት፣ አምራቾች በተወሰኑ ከፍተኛ የሙቀት መጠን አካባቢዎች ውስጥ ከማይሸፈን ወይም ከSiC-የተሸፈኑ አማራጮች ጋር ሲነፃፀሩ ከፍተኛ የዋፈር ምርት፣ የመቆያ ጊዜ መቀነስ እና ረዘም ያለ የሱሴፕተር ህይወት ይጠቀማሉ።

4. ከተለያዩ የ LED ሪአክተር መድረኮች ጋር ተኳሃኝነት

የሴሚክስላብ ታሲ ሽፋን ያላቸው ግራፋይት ሱሴፕተሮች ከሚከተሉት ዋና ዋና የMOCVD ስርዓቶች ጋር ተኳሃኝ ናቸው፦

● የAIXTRON ፕላኔቶች ሪአክተሮች

● Veeco K465i፣ EPIK 700/868

● ታይዮ ኒፖን ሳንሶ SR2000/SR4000

● ብጁ ባለብዙ-ዋፈር ወይም ነጠላ-ዋፈር ሪአክተሮች

እያንዳንዱ ተንሳፋፊ ከደንበኛው የሬአክተር ጂኦሜትሪ ጋር የተጣጣመ ሲሆን ለተወሰኑ የኤልኢዲ ኤፒታክሲያል ሂደቶች ተስማሚ የሆነ የዋፈር አሰላለፍ፣ የጋዝ ፍሰት ተለዋዋጭነት እና የሙቀት መስክ ሲሜትሪ ያረጋግጣል።

የሴሚክስላብ ጥቅሞች

1. የላቀ የቁሳቁስ ምህንድስና

ሴሚክስላብ ጥሩ ውፍረት፣ ማጣበቅ እና ጥግግት ለማግኘት በትክክለኛነት የሚቆጣጠር የሲቪዲ ታሲ ሽፋን ቴክኖሎጂን ይጠቀማል - ይህም አስተማማኝ የመከላከያ አፈጻጸም እና የሙቀት መረጋጋትን ያረጋግጣል።

2. ብጁ ማኑፋክቸሪንግ

እያንዳንዱ ተከላካይ እንደ ሬአክተር ሞዴል፣ የዋፈር መጠን ወይም የተወሰኑ የሂደት መስፈርቶች (የሙቀት ወጥነት፣ ልቀት፣ የሽፋን ውፍረት፣ ወዘተ) መሰረት ብጁ ዲዛይን ሊደረግለት ይችላል።

3. የቴክኒክ ምክክር እና ድጋፍ

የእኛ የውስጥ ኤፒታክሲ ሂደት መሐንዲሶች ደንበኞችን በቁሳቁስ ምርጫ፣ በሂደት ማዛመድ እና በሙቀት አፈጻጸም ማመቻቸት ላይ በማገዝ የአንድ ለአንድ የቴክኒክ ምክክር ይሰጣሉ።

4. ጥብቅ የጥራት ቁጥጥር

እያንዳንዱ ተከላካይ ባለብዙ ደረጃ ምርመራ - የውፍረት ወጥነት፣ የማጣበቅ ሙከራ፣ የSEM ወለል ትንተና እና የሙቀት ዑደት ማረጋገጫን ጨምሮ - ወጥ የሆነ ጥራት እና አስተማማኝነትን ያረጋግጣል።