ጠጣር SiC የጋዝ ሻወር ጭንቅላት

ሶሊድ ሲሲ የጋዝ ሻወር ጭንቅላት በተለይ ለላቁ የሴሚኮንዳክተር ሂደት ክፍሎች የተነደፈ የጋዝ ማከፋፈያ ክፍል ነው። በእነዚህ ክፍሎች ውስጥ፣ ከፍተኛ የሙቀት፣ የኬሚካል እና የፕላዝማ ሁኔታዎች የሂደቱን ወጥነት ለማረጋገጥ ልዩ መረጋጋት ያላቸውን ቁሳቁሶች ይፈልጋሉ። ሙሉ በሙሉ ጥቅጥቅ ካለ፣ ከፍተኛ ንፁህ ከሆነው ሶሊድ ሲሊከን ካርባይድ ቁሳቁስ የተገነባው ይህ አካል ወጥ የሆነ የጋዝ አቅርቦት፣ የተረጋጋ የፍሰት ተለዋዋጭነት እና በተለያዩ የፊት-መጨረሻ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ሂደቶች ላይ የረጅም ጊዜ የሂደት ተደጋጋሚነትን ለማረጋገጥ ወሳኝ ሚና ይጫወታል።

በኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) እና በፕላዝማ የተሻሻለ የኬሚካል ትነት ክምችት (PECVD) ሂደቶች ውስጥ፣ የሶልዲንግ ሲሲ ጋዝ ሻወር ራስ ወደ ምላሽ ሰጪው ዞን የሚገቡትን የፕሪኮርደር ጋዞች የቦታ ስርጭት በቀጥታ ይቆጣጠራል። ወጥ የሆነ የጋዝ ፍሰት ትክክለኛ የውስጥ-ዋፈር እና የዋፈር-ወደ-ዋፈር ፊልም ውፍረት ቁጥጥር፣ የአወቃቀር ወጥነት እና ተደጋጋሚ የኤሌክትሪክ ባህሪያትን ለማሳካት ወሳኝ ነው። ከባህላዊ ኳርትዝ ወይም ከተሸፈኑ ግራፋይት ዲዛይኖች ጋር ሲነጻጸር፣ የሲቪዲ ጋዝ ሻወር ኃላፊዎች ለረጅም ጊዜ ለከፍተኛ ሙቀት፣ ለቆርቆሮ ኬሚካሎች እና ለፕላዝማ አካባቢዎች ከተጋለጡ በኋላም እንኳ ትክክለኛ የኦሪፊስ ጂኦሜትሪ እና የፍሰት ባህሪያትን ይይዛሉ።

በፕላዝማ ቅርፊት ሂደቶች ወቅት፣ የጋዝ ሻወር ሄድ ዝቅተኛ የቅንጣት ማመንጨት መጠንን በመጠበቅ ኃይለኛ የፍሎሪን እና የክሎሪን-ተኮር ኬሚካሎችን መቋቋም አለበት። ጠጣር ሲሊከን ካርቦይድ የላቀ የፕላዝማ መቻቻል እና የዝገት መረጋጋትን ይሰጣል፣ ይህም ከተሸፈኑ ወይም ከተዋሃዱ መዋቅሮች ጋር ሲነጻጸር የንጥረ ነገር መፈጠርን በእጅጉ ይቀንሳል። ይህ ወሳኝ ልኬት (ሲዲ) ወጥነትን ያሻሽላል፣ የተረጋጋ የኤች መገለጫዎችን ያቀርባል፣ እና የመከላከያ ጥገና ክፍተቶችን ያራዝማል።

የ Solid SiC Gas Shower Heads ሚና በሲሊኮን ካርቦይድ (SiC) እና በጋሊየም ናይትራይድ (GaN) ኤፒታክሲያል እድገት ውስጥ የበለጠ ወሳኝ ይሆናል። እነዚህ አፕሊኬሽኖች በተለምዶ ከ1500 °C በላይ የሙቀት መጠን እና በሃይድሮጂን የበለፀጉ አካባቢዎችን ያካትታሉ። የ GaN Epitaxy Gas Distribution ክፍል ሜካኒካል ክፍል ብቻ ሳይሆን የ epitaxial ንብርብር ጥራትን የሚያረጋግጥ ዋና አካል ነው። የ Solid Silicon Carbide ልዩ የሙቀት መረጋጋት፣ ዝቅተኛ የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት እና ለሃይድሮጂን ኢቺንግ መቋቋም ለረጅም እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባለው የእድገት ዑደቶች ውስጥ ሲሊኮን፣ ካርቦን እና ዶፓንት ፕሪንሰሮችን በአስተማማኝ ሁኔታ እንዲያቀርብ ያስችለዋል።

ከማኑፋክቸሪንግ ሂደት እና ከወጪ አንፃር፣ የ Solid SiC Gas Shower Head ሞኖሊቲክ መዋቅር የሽፋን መበስበስን እና ከበይነገጽ ጋር የተያያዙ ውድቀቶችን ያስወግዳል። የተራዘመ የአገልግሎት ዘመኑ የመተኪያ ድግግሞሽን፣ የክፍል መቆራረጥን እና ከጥገና ጋር የተያያዙ የምርት ኪሳራዎችን በእጅጉ ይቀንሳል። ለ semiconductor fab እና ለመሳሪያ አምራቾች፣ ይህ በመሳሪያዎች የስራ ሰዓት፣ የሂደት መረጋጋት እና በአጠቃላይ የማኑፋክቸሪንግ ቅልጥፍና ላይ ከፍተኛ መሻሻል ያስከትላል። በቻይና ሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ ዘርፍ ውስጥ ግንባር ቀደም የቴክኖሎጂ አቅራቢ እንደመሆኑ መጠን ሴሚክስላብ ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ የተራቀቁ ቴክኖሎጂዎችን እና ብጁ የ Solid SiC Shower Head መፍትሄዎችን ለማቅረብ ቁርጠኛ ሆኖ ቀጥሏል። ሴሚክስላብ በቻይና የረጅም ጊዜ አጋርዎ ለመሆን በቅንነት በጉጉት ይጠብቃል።