የSSiC ማሸጊያ ቀለበቶች

በሴሚክስላብ፣ የእኛ የSSiC ማኅተም ቀለበቶች ለዘመናዊ ሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥብቅ መስፈርቶች የተነደፉ ከፍተኛ አፈጻጸም ያለው የማኅተም ቴክኖሎጂ መሠረት ናቸው። ሙሉ በሙሉ ጥቅጥቅ ካለ፣ ከፍተኛ ንፁህ የሲንተሬትድ ሲሊከን ካርቦይድ የተመረቱት እነዚህ የማኅተም ክፍሎች እጅግ በጣም በሚፈለገው የቫክዩም፣ ከፍተኛ ሙቀት እና ዝገት ባለው የጋዝ አካባቢ ላይ ልዩ የሆነ የኬሚካል መረጋጋት፣ የሙቀት መቋቋም እና የሜካኒካል ጥንካሬ ይሰጣሉ። በፊት ለፊት በኩል ባለው የዋፈር ማቀነባበሪያ የበለፀገ የምህንድስና ልምድ ስላለን፣ የሂደት መረጋጋትን የሚያሻሽሉ፣ የመሳሪያዎችን ዕድሜ የሚያራዝሙ እና በተራቀቁ ሴሚኮንዳክተር ኖዶች ውስጥ የመሣሪያ ምርትን የሚጠብቁ የSSiC ማኅተም መፍትሄዎችን እንነድፋለን።

በኤፒታክሲ (ኤፒ) ሂደቶች ውስጥ፣ ዋፈሮች ለሃይድሮጂን የበለፀጉ ከባቢ አየር፣ ለኃይለኛ ክሎሪን ኬሚስትሪ እና ከ1200°ሴ በላይ የሙቀት መጠን ሲጋለጡ፣ የኤስሲሲ ማኅተም ቀለበቶች በተለዋዋጭ የክፍል ቦታ እና በአካባቢው ሜካኒካዊ ስብሰባዎች መካከል አየር የማያስገቡ መለያየትን በመጠበቅ ረገድ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። እጅግ በጣም ዝቅተኛ ቀዳዳዎቻቸው እና ተወዳዳሪ የሌለው የዝገት መቋቋም በሪአክተሩ ውስጥ የረጅም ጊዜ የጋዝ ታማኝነትን ያረጋግጣሉ፣ የፊልም ወጥነትን ወይም የዶፓንት ትክክለኛነትን ሊያበላሹ የሚችሉ መፍሰስን፣ ብክለትን እና ጥገኛ ምላሾችን ይከላከላሉ። በሚሽከረከሩ ተንጠልጣይ ስርዓቶች ውስጥ፣ የኤስሲሲ የላቀ የመልበስ መቋቋም እና የልኬት መረጋጋት ቀጣይነት ባለው የሙቀት ዑደት አማካኝነት ለስላሳ፣ ከቅንጣት ነፃ የሆነ አሠራርን ያስችላሉ፣ ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን የSi፣ SiGe፣ SiC እና GaN ኤፒታክሲያል ንብርብሮችን ማምረት ይደግፋሉ።

በ ALD፣ CVD፣ PECVD እና LPCVD መድረኮች ውስጥ፣ የ SSiC ማኅተም ቀለበቶች እንደ ዋና የክፍል ማኅተሞች፣ የማግለያ ቀለበቶች እና በፕላዝማ የተጋለጡ መዋቅራዊ ክፍሎች ሆነው ያገለግላሉ፤ እነዚህም በሃሎጅን ላይ የተመሰረቱ ቅድመ-ቅጦችን፣ የፕላዝማ መሸርሸርን እና ተደጋጋሚ የፓምፕ-ታች ዑደቶችን መቋቋም አለባቸው። በTEOS፣ TMA፣ ክሎሮሲላኖች፣ የፍሎራይን ዝርያዎች እና የማስቀመጫ ተረፈ ምርቶች ፊት በኬሚካላዊ መልኩ ንቁ ሆነው የመቆየት አቅማቸው ከተሸፈኑ ብረቶች ወይም ፖሊመር ኮምፖዚት ማኅተሞች ተመራጭ አማራጭ ያደርጋቸዋል። የሴሚክስላብ SSiC ጥቅጥቅ ያለ ክሪስታላይን መዋቅር ከውጭ ጋዝ ማውጣትን እና ቅንጣት ማመንጨትን ያስወግዳል፣ ይህም ለላቀ ቀጭን ፊልም ክምችት የሚያስፈልጉትን ከፍተኛ ተደጋጋሚነት እና ዝቅተኛ ጉድለት ያላቸውን አካባቢዎች ይደግፋል። ትክክለኛ ማኅተም እና ሜካኒካል ታማኝነትን በመጠበቅ፣ እነዚህ ቀለበቶች የክፍል ግፊትን፣ የሙቀት ስርጭትን እና የፕሪከርሰር ፍሰት መገለጫዎችን ያረጋጋሉ - ለቋሚ ዲኤሌክትሪክ፣ መከላከያ እና ኤፒታክሲያል ፊልም አፈፃፀም አስፈላጊ ነገሮች።

በስርጭት፣ በከፍተኛ ሙቀት ማቃጠል እና ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ አካባቢዎች፣ የኤስሲሲ ማኅተም ቀለበቶች በሞቃት ምላሽ ዞኖች እና በእቶን ስርዓቶች የአካባቢ ሜካኒካል በይነገጾች መካከል አስተማማኝ ማኅተም ይሰጣሉ። እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንታቸው፣ ከከፍተኛ ስብራት ጥንካሬ እና እጅግ በጣም ጥሩ የኦክሳይድ መቋቋም ጋር ተዳምሮ፣ የጋዝ ታማኝነትን እና የሜካኒካል መረጋጋትን ከ1400°ሴ በላይ እንኳን እንዲጠብቁ ያስችላቸዋል። ይህ ወጥ የሆነ የዶፓንት ማግበርን፣ የተረጋጋ የእቶን ከባቢ አየርን እና የዋፈር-ወደ-ዋፈር ወጥነትን ያረጋግጣል፣ የንጽህና ውህደትን ይቀንሳል እና በሂደቱ መለኪያዎች ውስጥ መንሸራተትን ይቀንሳል። ለቱቦ ምድጃዎች እና ለአርቲፒ/አርቲኤ ክፍሎች፣ የኤስሲሲ ፈጣን የሙቀት መወጣጫዎች መቋቋም ረጅም የአሠራር ዘመንን፣ አነስተኛ የጥገና መቆራረጦችን እና የተጠበቀ የሂደት ንፅህናን ያረጋግጣል።

ከፍተኛ ጥራት ባለው ማይክሮስትራክቸራል ፍተሻ፣ የፕላዝማ-ኢች የመቋቋም ግምገማ፣ ትክክለኛ የልኬት ቁጥጥር እና የብክለት ትንተና አማካኝነት እያንዳንዱ የማተሚያ ቀለበት በጥብቅ ዓለም አቀፍ የኢንዱስትሪ ደረጃዎች መሠረት ተረጋግጧል። የተገኙት ክፍሎች እጅግ በጣም ዝቅተኛ የአዮኒክ ቆሻሻዎች፣ ወደ ዜሮ የሚጠጋ የመተላለፍ አቅም እና የረጅም ጊዜ የልኬት መረጋጋት ያሳያሉ፣ ይህም የጨርቅ እና የመሳሪያ አምራቾች ከፍተኛ የስራ ጊዜ፣ የተራዘመ የPM ዑደቶች እና በምርት መስመሮች ውስጥ የላቀ የሂደት ወጥነት እንዲያገኙ ያስችላቸዋል። ሴሚክስላብ ሁልጊዜ በሴሚኮንዳክተር ሲንተርድ ሲሊኮን ካርቦይድ (SSiC) መስክ ውስጥ የታመነ የረጅም ጊዜ አጋርዎ ነው።