ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የ CVD-SiC ምንጭ ብሎኮች እና ቁርጥራጮች

የ6 ኢንች እና የ8 ኢንች SiC ዋፈርዎችን በማምረት ረገድ፣ ባህላዊው የፊዚካል ትነት ትራንስፖርት (PVT) ዘዴ ብዙውን ጊዜ ችግር ይፈጥራል፡ የካርቦን አቧራ (ሲ-አቧራ) ብክለት እና ከSiC ዱቄት የሚገኘው ያልተረጋጋ የንዑስ ማውጫ መጠን።

የባህላዊ የዱቄት ምንጮችን ትክክለኛነት ለመግታት በተለይ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸውን የCVD-SiC ምንጭ ብሎኮች እና ቁርጥራጮችን አዘጋጅተናል። ከሴሚኮንዳክተር-ደረጃ CVD-SiC ቅድመ-ቅጦች ጀምሮ፣ ቁሳቁሱን በባለቤትነት የመፍጨት እና የመደርደር ዑደት እናስኬዳለን። ይህ ስለ መሬቱ ማጽዳት ብቻ አይደለም - እንደገና ጥቅም ላይ የዋሉ ክፍሎችን ለቀጣዩ ትውልድ የSiC ዋፈርስ ወደ ከፍተኛ አፈጻጸም ምንጭ ቁሳቁስ የሚቀይር ጥልቅ የማጥራት ሂደት ነው። ውጤቱም የሙቀት መስክ ቅልጥፍናዎችን የሚያመቻች እና የክሪስታል እድገት ምርትን በከፍተኛ ሁኔታ የሚጨምር ከፍተኛ ጥግግት ያለው፣ 7N-ደረጃ ምንጭ ቁሳቁስ ነው።

ዝርዝር መግለጫዎች እና ትዕዛዝ

● ንፅህና፡ ከ6N5 እስከ 7N

● መጠን፡ 5ሚሜ - 50ሚሜ (ሊበጅ የሚችል)

● ማሸጊያ፡ ድርብ ሽፋን ያላቸው፣ በቫክዩም የተሸፈኑ ፀረ-ስታቲክ PE ከረጢቶች።

● የመሪ ጊዜ፡- ዓለም አቀፍ የማጓጓዣ አቅም ያለው የተረጋጋ የአቅርቦት ሰንሰለት።

የታለሙ መተግበሪያዎች

የPVT SiC ክሪስታል እድገት፡ ለ4H-SiC አስተላላፊ እና ከፊል-ኢንሱሌሽን ንጣፎች ተስማሚ።

8 ኢንች ዋፈር ስኬል-አፕ፡- የዱቄት አለመረጋጋት በሚባባስባቸው የቀጣይ ትውልድ ሬአክተሮች ለትላልቅ የሙቀት መስኮች የተነደፈ።

ከፍተኛ ደረጃ ያለው የምርምር እና የልማት ሥራ፡- ዝቅተኛውን EPD (Etch Pit Density) እና MPD ለሚፈልጉ ላቦራቶሪዎች።

የሴሚክስላብ ጠርዝ፡ በመረጃ የተደገፈ አስተማማኝነት

ኢንዱስትሪው ወደ 8 ኢንች SiC ማምረቻ ሲሸጋገር፣ የምንጭ ቁሳቁሶች ወጥነት የመሳሪያዎች የስራ ሰዓት ዋና አንቀሳቃሽ ይሆናል። የሲቪዲ-ሲሲ ቁርጥራጮች ለረጅም ዑደት እና ከፍተኛ ምርት ላላቸው ክሪስታል ሩጫዎች የሚያስፈልገውን ከፍተኛ የክምር ጥግግት እና ሊገመት የሚችል ንዑስ-ንጣፍ ይሰጣሉ።

የGDMS የተረጋገጠ፡ እያንዳንዱ ባች ሙሉ አካል የGDMS ትንተና ሪፖርት ይዞ ይላካል።

ብጁ ደረጃ አሰጣጥ፡- ከተወሰነ የክሩሲብል ጂኦሜትሪዎ ጋር እንዲዛመድ ትክክለኛ የመጠን ምደባ (ለምሳሌ፣ 5-20ሚሜ ወይም 20-50ሚሜ) እናቀርባለን።

የሴሚክስላብ ጥቅም፡ ከፍተኛ ምርት፣ ዝቅተኛ ወጪዎች

7N እጅግ በጣም ንጽህና፡ ሙሉ በሙሉ የብረት ብክለትን መቆጣጠር ግብ ብቻ አይደለም - የእኛ መስፈርት ነው። በሲቪዲ ላይ የተመሰረቱ ጥሬ እቃዎችን በመጠቀም፣ የ4H-SiC ክሪስታሎችዎ ከዘሩ ጀምሮ ምንም እንከን የሌለባቸው ሆነው እንዲቆዩ የሚያረጋግጥ 99.99999% ንፁህ ምንጭ እናቀርባለን።

የእድገት እንቅፋትን መስበር፡ አብዛኛዎቹ ፋብሎች በ0.5 ሚሜ/ሰዓት ተጣብቀዋል። የሴሚክስላብ ቁርጥራጮች የላቀ የጅምላ ዝውውርን ያመቻቻሉ፣ የPVT ሂደትዎን ወደ 1.46 ሚሜ/ሰዓት ያራዝማሉ። የ8 ኢንች ምርትዎን ለማሳደግ ፈጣኑ መንገድ ነው።

ንፁህ ንዑስ-ማስረጃ፦ ባህላዊ ዱቄቶች በ"ሲ-አቧራ" ብክለት ይሰቃያሉ። ጠንካራ የሆነው የኛ የስብስብ ቅርፅ በእንፋሎት ደረጃ ውስጥ ምንም አይነት ቅንጣቶች እንዳይኖሩ ያረጋግጣል፣ MPDን ይገታል እና የመፈናቀልን ብዛት ወደ 3000 ሴ.ሜ/² አካባቢ ይጠብቃል።

የኢንዱስትሪ ቅልጥፍና፡ ሴሚኮንዳክተር-ደረጃ CVD-SiCን እንደገና በማምጣት ዘላቂ እና ከፍተኛ ንፅህና ያለው አማራጭ እናቀርባለን። ከሰው ሰራሽ ዱቄት የበለጠ ንፁህ ነገር ግን ለጅምላ ምርት ዋጋ ያለው ቁሳቁስ ያገኛሉ።

ቴክኒካዊ ንጽጽር፡ ቁርጥራጮች ከባህላዊ ዱቄት ጋር