TaC የተሸፈነ LED epi susceptor

የTaC ሽፋን ያለው የ LED ኤፒ ሱሴፕተር ከፍተኛ ንፅህና ያለው የታንታለም ካርቢይድ (TaC) ሽፋን ቴክኖሎጂን ይጠቀማል፣ ይህም ለ MOCVD (የብረት ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ማስቀመጫ) መሳሪያዎች በተለይ የተነደፈ እና ለ LED ኤፒታክሲያል ዋፈርስ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ማስቀመጫ ሂደት ተስማሚ ነው። ምርቱ እጅግ በጣም ጥሩ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ የዝገት መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት አለው፣ ይህም ብክለትን እና የቅንጣት መፍሰስን በእጅጉ ሊቀንስ እና የአገልግሎት እድሜን ሊያራዝም ይችላል። የ LED ኤፒታክሲያል ዋፈር ምርትን እና የምርት ቅልጥፍናን ለማሻሻል ተስማሚ ምርጫ ነው።

መተግበሪያ:

የTaC ሽፋን ያለው የ LED ኤፒ ሱሴፕተር ለMOCVD መሳሪያዎች በተለይ የተነደፈ ሲሆን በዋናነት በ LED ኤፒታክሲያል ዋፈር ምርት ውስጥ በተለይም በጋሊየም ናይትሬድ (GaN) ላይ የተመሰረቱ ሰማያዊ እና አልትራቫዮሌት ኤልኢዲዎች ኤፒታክሲያል እድገት ላይ ይውላል። እንዲሁም የSiC/GaN የኃይል ሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎችን የማምረቻ ፍላጎቶችን ሊያሟላ ይችላል እና በሳይንሳዊ ምርምር ተቋማት ውስጥ ለከፍተኛ ሙቀት CVD፣ MBE እና ለሌሎች የቁሳቁስ ማከማቻ ሙከራዎች ተስማሚ ነው።

ሊሰጡ የሚችሉ አገልግሎቶች፡

የደንበኛ መተግበሪያ ሁኔታ ትንተና፣ የማዛመጃ ቁሳቁሶች፣ የቴክኒክ ችግር መፍታት።

የድርጅቱ ህይወት ታሪክ:

ሴሚክስላብ ሁለት ላቦራቶሪዎች ያሉት ሲሆን የ20 ዓመት የቁሳቁስ ልምድ ያላቸው ባለሙያዎች ቡድን ሲሆን የምርምር እና የልማት፣ የፈተና እና የማረጋገጫ ችሎታዎች አሉት።

የቴክኒክ መለኪያዎች

ዋና የማመልከቻ መስኮች

የኢኮሎጂካል ሰንሰለት ማረጋገጫ ማረጋገጫ

የሴሚክስላብ ታሲ ሽፋን ያለው የኤልኢዲ ኤፒ ሱሰሰተር ሥነ-ምህዳራዊ ሰንሰለት ማረጋገጫ ጥሬ እቃዎችን ወደ ምርት ይሸፍናል፣ ዓለም አቀፍ ደረጃውን የጠበቀ የምስክር ወረቀት አልፏል፣ እና በሴሚኮንዳክተር እና በአዳዲስ የኃይል መስኮች ውስጥ አስተማማኝነቱን እና ዘላቂነቱን ለማረጋገጥ በርካታ የፈጠራ ባለቤትነት ቴክኖሎጂዎች አሉት።

የተለመደው የማመልከቻ ሂደት

ጥሬ እቃ ዝግጅት (ከፍተኛ ንፅህና ያለው የግራፋይት ምርመራ) → የንዑስ ክፍል ማምረቻ (ኢሶስታቲክ ፕሬንግ) → የTaC ሽፋን ሂደት (የሲቪዲ ማከማቻ) → ድህረ-ሂደት (ትክክለኛነት ማጥራት) → የጥራት ምርመራ → ማሸግ እና ማድረስ

የኤልኢዲ ቴክኖሎጂ እንደ ሚኒ ኤልኢዲ እና ማይክሮ ኤልኢዲ ባሉ ትናንሽ መጠኖች እና ከፍተኛ ትክክለኛነት እያደገ ሲሄድ፣ የMOCVD መሳሪያዎች የመረጋጋት እና የሂደት ቁጥጥር መስፈርቶች ከጊዜ ወደ ጊዜ እየጨመሩ መጥተዋል። የTaC ሽፋን ያለው ኤልኢዲ ኤፒ ሱሴፕተር ማስተዋወቅ አሁን ያለውን የኤልኢዲ ምርት ውጤታማነት ከማሻሻል ባለፈ ለቀጣዩ የማሳያ ቴክኖሎጂ ትውልድ የበለጠ አስተማማኝ የማምረቻ መሰረት ይሰጣል።

ለዝርዝር ቴክኒካዊ ዝርዝሮች፣ ነጭ ወረቀቶች ወይም የናሙና ሙከራ ዝግጅቶች፣ Semixlab የሂደትዎን ቅልጥፍና እንዴት ማሻሻል እንደሚችል ለማወቅ የቴክኒክ ድጋፍ ቡድናችንን ያነጋግሩ።

ሴሚክስላብ ታሲ የተሸፈነ የ LED ኤፒአይ ሱሰተር ኮር ጥቅሞች

እጅግ በጣም ከፍተኛ የሙቀት መጠን መቋቋም

በTaC የተሸፈኑ የ LED ኤፒታክሲያል ሱሰሴፕተሮች ከከፍተኛ ንፁህ ታንታለም ካርቦይድ ቁሳቁስ የተሠሩ ሲሆኑ፣ ከ1200°ሴ በላይ ባለው ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባሉ አካባቢዎች ለረጅም ጊዜ በተረጋጋ ሁኔታ ሊሰሩ ይችላሉ። በMOCVD ሂደት ከፍተኛ የሙቀት መጠን ሁኔታዎች ውስጥ እንኳን፣ ሽፋኑ አይሰነጠቅም ወይም አይላጭም፣ ይህም የኤፒታክሲያል እድገት ሂደቱን ወጥነት እና ወጥነት ያረጋግጣል እንዲሁም የምርት ምርትን ውጤታማ በሆነ መንገድ ያሻሽላል።

ጥሩ ቆሻሻን መቋቋም

የኤልኢዲ ኤፒታክሲያል ዋፈርስ በማምረት ሂደት ውስጥ፣ ተከላካይው ለረጅም ጊዜ እንደ H2 እና NH3 ላሉ ዝገት ጋዞች መጋለጥ አለበት። የTaC ሽፋን እጅግ በጣም ጠንካራ የኬሚካል ኢንተለጀንስ ያለው ሲሆን የጋዝ መሸርሸርን በብቃት መቋቋም እና በኦክሳይድ ወይም በግብረመልስ የሚመነጩ ቆሻሻዎችን ማስወገድ ይችላል፣ በዚህም የኤፒታክሲያል ዋፈርን ንፅህና እና የኦፕቶኤሌክትሮኒክ አፈፃፀም ያረጋግጣል።

ዝቅተኛ የሙቀት ለውጥ

የTaC ሽፋን የሙቀት መስፋፋት ኮፊሸንት ከግራፋይት ንጣፉ ጋር በጣም የተጣጣመ ሲሆን፣ ተንሳፋፊው በፍጥነት በሚጨምርበት እና በሚወድቅበት ጊዜም ቢሆን እጅግ በጣም ዝቅተኛ የሙቀት ለውጥ መጠንን ሊጠብቅ ይችላል። ይህ ባህሪ የኤፒታክሲያል ዋፈር መወዛወዝ አደጋን በእጅጉ ሊቀንስ፣ የኤፒታክሲያል ንብርብር ወጥ የሆነ እድገትን ማረጋገጥ እና የምርት ወጥነትን ሊያሻሽል ይችላል።

ከፍተኛ የወለል አጨራረስ

የሱሴፕተር ወለል በትክክል የተወለወለ ሲሆን ሻካራነቱ ከ0.5 μm በታች ቁጥጥር የሚደረግበት ሲሆን ይህም በኤፒታክሲያል እድገት ወቅት የጉድለት መጠኑን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቀንሳል። ለስላሳው ወለል በኤፒታክሲያል ዋፈር እና በሱሴፕተር መካከል ያለውን ማጣበቂያ ሊቀንስ ይችላል፣ ይህም ዋፈርን ለማስወገድ ቀላል ያደርገዋል እና የዋፈር መሰበር አደጋን ይቀንሳል።

ረጅም ዕድሜ ንድፍ

ከባህላዊ የግራፋይት ተከላካይ ጋር ሲነጻጸር፣ የTaC ሽፋን የተሻለ የመልበስ መቋቋም እና የዝገት መቋቋም ችሎታ አለው፣ እና የአገልግሎት ህይወቱ ከ 3 እጥፍ በላይ ሊጨምር ይችላል። ይህ የፍጆታ ምትክ ድግግሞሽን ከመቀነስ ባለፈ፣ በሱሴፕተር እርጅና ምክንያት የሚከሰቱ የሂደት መለዋወጥን ይቀንሳል፣ ይህም በረጅም ጊዜ ውስጥ የምርት ወጪዎችን በእጅጉ ሊቀንስ ይችላል።